[实用新型]一种校正定位装置及测试设备有效

专利信息
申请号: 202121187192.3 申请日: 2021-05-28
公开(公告)号: CN215911407U 公开(公告)日: 2022-02-25
发明(设计)人: 林广满;陈林山;王建勇;范聚吉 申请(专利权)人: 深圳市深科达半导体科技有限公司
主分类号: H01L21/68 分类号: H01L21/68;H01L21/66
代理公司: 深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414 代理人: 刘艳
地址: 518000 广东省深圳*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 校正 定位 装置 测试 设备
【权利要求书】:

1.一种校正定位装置,其特征在于,包括:

校正基座;

旋转座,可转动地支撑在所述校正基座上;

旋转驱动件,与所述旋转座连接,所述旋转驱动件用于驱动所述旋转座转动;

定位台,固定于所述旋转座上,所述定位台用于承载半导体器件;

第一校正臂,转动连接于所述旋转座上,所述第一校正臂设有第一夹持部和第一活动连接部,所述第一夹持部设于所述定位台上方,所述第一活动连接部设于所述定位台的下方;

第二校正臂,转动连接于所述旋转座上,所述第二校正臂设有第二夹持部和第二活动连接部,所述第二夹持部设于所述定位台上方且与所述第一夹持部相对设置,所述第二活动连接部设于所述定位台的下方且与所述第一活动连接部活动连接;以及

弹性件,所述弹性件的一端抵接于所述定位台,另一端抵接于所述第一活动连接部或所述第二活动连接部,使得所述第一夹持部和所述第二夹持部具有收拢的趋势。

2.如权利要求1所述的校正定位装置,其特征在于,所述第一活动连接部包括相对设置的第一限位件和第二限位件,所述第二活动连接部包括活动连接于所述第一限位件和所述第二限位件之间的限位头,所述弹性件的远离所述定位台的一端抵接于所述第一限位件上。

3.如权利要求2所述的校正定位装置,其特征在于,所述限位头的上下两侧呈弧形且分别抵接于所述第一限位件和所述第二限位件上。

4.如权利要求1所述的校正定位装置,其特征在于,所述校正定位装置还包括针座,所述针座设于所述弹性件和所述定位台之间,所述针座凸设有顶针,所述顶针穿过所述定位台后凸设于所述定位台的上表面。

5.如权利要求1所述的校正定位装置,其特征在于,所述定位台设有供所述半导体器件定位的定位槽。

6.如权利要求1所述的校正定位装置,其特征在于,所述定位台设有第一通孔和第二通孔,所述第一夹持部穿过所述第一通孔后延伸至所述定位台的上方,所述第二夹持部穿过所述第二通孔后延伸至所述定位台的上方。

7.如权利要求1至6任一项所述的校正定位装置,其特征在于,所述旋转座设有依次连通的第一沉槽、中空槽和第二沉槽,所述第一校正臂嵌设于所述第一沉槽中,所述第二沉槽嵌设于所述第二沉槽中,所述弹性件嵌设于所述中空槽中。

8.如权利要求7所述的校正定位装置,其特征在于,所述第一校正臂通过第一转轴转动连接于所述第一沉槽中,所述第二校正臂通过第二转轴转动连接于所述第二沉槽中。

9.如权利要求1至6任一项所述的校正定位装置,其特征在于,所述校正定位装置还包括设于所述校正基座上且用于检测所述定位台上是否放置有半导体器件的激光发射器和激光接收器,所述激光发射器用于发射激光,所述激光接收器用于接收所述激光发射器发射的激光。

10.一种测试设备,其特征在于,包括转移装置、电性测试装置以及如权利要求1至9任一项所述的校正定位装置,所述转移装置用于将所述校正定位装置上的半导体器件转移至所述电性测试装置上。

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