[实用新型]基于颗粒硅的单晶棒制备装置

说明书

本实用新型公开了一种基于颗粒硅的单晶棒制备装置，包括炉室和位于炉室内部的：盛料容器，内部放置有颗粒硅，底部开口设置有控制挡板；导料滑道，上端位于底部开口正下方；熔区，位于导料滑道下端的正下方；加热线圈，位于熔区外围；单晶棒拉制模组，位于熔区正上方。本实用新型的，操作方便，利用颗粒硅重力通过滑道的方式自由落到熔区上；由于颗粒硅外形为圆形，自由下落过程中对颗粒硅表面无沾污污染；滑落不需要其他外力，自身重力下滑至熔区上，定位准确。另外，逐颗下落粘连在底部熔区上，可以保持底部熔区温度不被降低，熔区始终保持在高温中，可以连续按颗进行化料，提高化料效率，操作可控，每颗颗粒硅依次通过控制挡板，依次下落。

技术领域

本实用新型涉及单晶棒制备领域，尤其涉及基于颗粒硅的单晶棒制备装置。

背景技术

随着世界能源危机的日益严重，绿色能源、能源多元化、可再生能源的利用成了我国可持续发展的战略选择，其中太阳能光伏发电成了当前电力科技者研发的热门课题之一。颗粒硅是生产单晶硅的直接原料，硅是当代人工智能、自动控制、信息处理、光电转换等半导体器件的电子信息基础材料，颗粒硅纯度越高，电子性能越好，相应光电转换率提高。

目前颗粒硅已逐渐成为连续加料拉制单晶棒的原料，但颗粒硅检测技术受到设备、炉体加热石墨件、坩埚等杂质影响，检测的颗粒硅数据不准确，从而使得单晶棒制备受到影响。

因此，针对上述问题，提供一种基于颗粒硅的单晶棒制备装置，是本领域亟待解决的技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术的不足，提供一种基于颗粒硅的单晶棒制备装置。

本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现的：

本实用新型的第一方面，提供基于颗粒硅的单晶棒制备装置，包括炉室和位于炉室内部的：

盛料容器，内部放置有颗粒硅，底部开口设置有控制挡板；

导料滑道，上端位于所述底部开口正下方；

熔区，位于导料滑道下端的正下方；

加热线圈，位于熔区外围；

单晶棒拉制模组，位于所述熔区正上方。

进一步地，所述单晶棒拉制模组包括：

籽晶，位于熔区正上方；

夹头，用于夹持所述籽晶远离熔区的一端；

可提升上轴，与夹头固定连接。

进一步地，还包括与炉室连接的环境控制模组。

进一步地，所述环境控制模组包括抽真空设备和充氩气设备。

进一步地，所述盛料容器为高纯石英盛料容器。

进一步地，所述盛料容器内表面为纯硅内表面。

进一步地，还包括位于炉室外部的控制器，所述控制器与控制挡板、加热线圈和单晶棒拉制模组连接。

进一步地，所述熔区为圆环熔区。

进一步地，所述加热线圈为与所述熔区同圆心的圆环加热线圈。

进一步地，所述导料滑道的倾斜角度为30度-60度。

本实用新型的有益效果是：