[实用新型]一种硅棒滚磨机磨头用修磨装置有效
申请号: | 202121196215.7 | 申请日: | 2021-05-31 |
公开(公告)号: | CN215317744U | 公开(公告)日: | 2021-12-28 |
发明(设计)人: | 王峥;候昊;史明星;陆玉浩;韩子萌 | 申请(专利权)人: | 麦斯克电子材料股份有限公司 |
主分类号: | B24B19/22 | 分类号: | B24B19/22;B24B41/02;B24B41/04;B24B47/12;B24B47/04;B24B53/14 |
代理公司: | 洛阳公信知识产权事务所(普通合伙) 41120 | 代理人: | 逯雪峰 |
地址: | 471000 河南省洛*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 硅棒滚磨机磨头用修磨 装置 | ||
1.一种硅棒滚磨机磨头用修磨装置,其特征在于,包括滚磨机本体以及用于修磨安置在滚磨机本体上的磨头(5)的打磨装置(8),
滚磨机本体包括机架(1),机架(1)上设有用于夹持打磨装置(8)的夹持机构、驱动所述夹持机构水平移动的横向滑台(2)、用于安装并驱动磨头(5)旋转的第二电机(6)、以及垂直于横向滑台(2)设置并用于驱动第二电机(6)靠近或远离横向滑台(2)的纵向滑台(7);
所述夹持机构包括相对同轴设置在横向滑台(2)上的第一电机(3)和水平油缸(12),第一电机(3)的输出轴上固定有转轴(4),水平油缸(12)的活塞杆(10)上旋转安装有套筒(9),水平油缸(12)驱动活塞杆(10)通过套筒(9)将打磨装置(8)夹持固定在转轴(4)上;
打磨装置(8)包括用于夹持在套筒(9)和转轴(4)之间的基体(803),基体(803)上固定有伸出基体(803)用于修磨磨头(5)的金刚磨石(805)。
2.如权利要求1所述的一种硅棒滚磨机磨头用修磨装置,其特征在于,所述基体(803)为开设有L形基台的圆柱状金属体,金刚磨石(805)通过压块(804)固定在所述L形基台上,基体(803)的两端固定设有端盖(801)。
3.如权利要求2所述的一种硅棒滚磨机磨头用修磨装置,其特征在于,所述金刚磨石(805)为长方体状,金刚磨石(805)用于打磨磨头(5)的磨面伸出所述基体(803)外轮廓10-20mm。
4.如权利要求1所述的一种硅棒滚磨机磨头用修磨装置,其特征在于,所述横向滑台(2)上还设置有用于活塞杆(10)滑动穿过的导向座(11)。
5.如权利要求1所述的一种硅棒滚磨机磨头用修磨装置,其特征在于,所述横向滑台(2)包括用于固定第一电机(3)和水平油缸(12)的置物台(203)以及用于驱动置物台(203)水平移动的第三电机(206),所述机架(1)上在第三电机(206)连接的丝杆(205)两侧对称设有导轨(201),导轨(201)上设有滑块(202),所述置物台(203)固定在滑块(202)上,并与设置在丝杆(205)上的螺母座(204)固定连接。
6.如权利要求5所述的一种硅棒滚磨机磨头用修磨装置,其特征在于,所述第一电机(3)、第二电机(6)以及第三电机(206)均为伺服电机。
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