[实用新型]一种硅棒滚磨机磨头用修磨装置

说明书

一种硅棒滚磨机磨头用修磨装置，包括滚磨机本体以及打磨装置，滚磨机本体包括机架，机架上设有夹持机构、横向滑台、第二电机、以及纵向滑台，夹持架构包括相对同轴设置在横向滑台上的第一电机和水平油缸，第一电机的输出轴上固定有转轴，水平油缸的活塞杆上旋转安装有套筒，打磨装置包括用于夹持在套筒和转轴之间的基体，基体上固定有伸出基体的金刚磨石。本实用新型能够通过金刚磨石滚磨新安装的磨头，减小新更换磨头与硅棒之间的角度，缩短硅棒与新磨头的磨合期，降低磨合期产生出的残次品硅棒数量，节约生产成本。

技术领域

本实用新型涉及单晶硅生产技术领域，具体涉及一种硅棒滚磨机磨头用修磨装置。

背景技术

硅棒滚磨机是电路级单晶硅生产行业常用的一种设备，硅棒滚磨机的磨头在工作中会受到磨损，因此，硅棒滚磨机在运行一段时间后，需要更换新的磨头，在更换新磨头后，由于设备的磨损，新磨头与轴承总成的旋转轴安装面很难达到完美契合，导致新磨头的磨面与待加工的硅棒有不应该存在的非正常角度，使磨出的硅棒表面不平、不光滑，硅棒表面出现台阶、划痕等产品质量问题。

目前，常通过将新磨头在滚磨机上使用一段时间，经过硅棒与新磨头之间的逐渐磨合，使新磨头的磨面与硅棒契合，但是，在磨合期间会产生出一些残次品硅棒，影响企业生产升本。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种硅棒滚磨机磨头用修磨装置，其能够通过金刚磨石滚磨新安装的磨头，减小新更换磨头与待加工硅棒之间的非正常角度，缩短硅棒与新磨头的磨合期，降低磨合期产生出的残次品硅棒数量，节约生产成本。

本实用新型为了解决上述技术问题所采用的技术方案是：

一种硅棒滚磨机磨头用修磨装置，包括滚磨机本体以及用于修磨安置在滚磨机本体上的磨头的打磨装置，

滚磨机本体包括机架，机架上设有用于夹持打磨装置的夹持机构、驱动所述夹持机构水平移动的横向滑台、用于安装并驱动磨头旋转的第二电机、以及垂直于横向滑台设置并用于驱动第二电机靠近或远离横向滑台的纵向滑台；

所述夹持机构包括相对同轴设置在横向滑台上的第一电机和水平油缸，第一电机的输出轴上固定有转轴，水平油缸的活塞杆上旋转安装有套筒，水平油缸驱动活塞杆通过套筒将打磨装置夹持固定在转轴上；

打磨装置包括用于夹持在套筒和转轴之间的基体，基体上固定有伸出基体用于修磨磨头的金刚磨石。

进一步地，所述基体为开设有L形基台的圆柱状金属体，金刚磨石通过压块固定在所述L形基台上，基体的两端固定设有端盖。

进一步地，所述金刚磨石为长方体状，金刚磨石用于打磨磨头的磨面伸出所述基体外轮廓10-20mm。

进一步地，所述横向滑台上还设置有用于活塞杆滑动穿过的导向座。

进一步地，所述横向滑台包括用于固定第一电机和水平油缸的置物台以及用于驱动置物台水平移动的第三电机，所述机架上在第三电机连接的丝杆两侧对称设有导轨，导轨上设有滑块，所述置物台固定在滑块上，并与设置在丝杆上的螺母座固定连接。

进一步地，所述第一电机、第二电机以及第三电机均为伺服电机。

本实用新型有益效果：

本实用新型设置带有金刚磨石的打磨装置，通过滚磨机本体驱动待修磨的磨头与金刚磨石发生相对旋转，使金刚磨石滚磨新安装的磨头，减小了生产时新更换的磨头与待加工硅棒之间的非正常角度，大大缩短了硅棒与新磨头的磨合期，使磨出的硅棒更平整、更光滑，从而降低了磨合期间产生出残次品硅棒数量，节约企业生产成本。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为打磨装置的结构示意图；