[实用新型]一种测量半导体封装同颗芯片四面爬胶高度的装置有效
申请号: | 202121199259.5 | 申请日: | 2021-05-31 |
公开(公告)号: | CN214702139U | 公开(公告)日: | 2021-11-12 |
发明(设计)人: | 李健荣;江超;王光明;莫应强 | 申请(专利权)人: | 佛山市蓝箭电子股份有限公司 |
主分类号: | G01B11/02 | 分类号: | G01B11/02 |
代理公司: | 佛山市禾才知识产权代理有限公司 44379 | 代理人: | 单蕴倩;朱培祺 |
地址: | 528000 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 测量 半导体 封装 芯片 四面 高度 装置 | ||
本实用新型公开了一种测量半导体封装同颗芯片四面爬胶高度的装置,包括底座、万向架、红外线发生器、单筒式显微镜以及旋转平台;所述万向架的一端与底座固定连接,另一端与单筒式显微镜相固定;所述单筒式显微镜的延伸方向相对竖直方向具有倾斜角度;所述旋转平台与底座的顶面转动连接,所述旋转平台用于承载待测件;所述红外线发生器通过调节件安装于底座,所述红外线发生器射出的用于校准的激光点位于所述旋转平台上,所述旋转平台位于单筒式显微镜的视野范围内;本实用新型具有改变单筒式显微镜的角度与位置,使得单筒式显微镜可以对产品进行多维度的观察,以提高测量数据的精确度的效果。
技术领域
本实用新型涉及半导体高度检测技术领域,尤其是涉及一种测量半导体封装同颗芯片四面爬胶高度的装置。
背景技术
目前,在半导体行业内,一般通过带有刻度的普通垂直式体视显微镜来判断半导体产品的爬升高度,根据产品的爬升高度与芯片高度计算出爬升占比,从而来判断产品是否合格。
竖直式体视显微镜一般需要人手对产品的位置进行调整,而且不易观察产品的四面爬胶情况,测量数据准确度欠佳,对此,有待进一步改进。
实用新型内容
本实用新型的目的在于使用一种测量半导体封装同颗芯片四面爬胶高度的装置,以解决传统竖直式体视显微镜不能观察产品的四面爬胶情况,测量数据准确度欠佳的问题。
为达此目的,本实用新型采用以下技术方案:
一种测量半导体封装同颗芯片四面爬胶高度的装置,包括底座、万向架、红外线发生器、单筒式显微镜以及旋转平台;
所述万向架的一端与底座固定连接,另一端与单筒式显微镜相固定;所述单筒式显微镜的延伸方向相对竖直方向具有倾斜角度;
所述旋转平台与底座的顶面转动连接,所述旋转平台用于承载待测件;
所述红外线发生器通过调节件安装于底座,所述红外线发生器射出的用于校准的激光点位于所述旋转平台上,所述旋转平台位于单筒式显微镜的视野范围内。
进一步的,所述旋转平台具有旋转轴心,所述红外线发生器发出的激光点射于所述旋转轴心。
进一步的,所述旋转平台开设有顶部开口的容纳槽,所述容纳槽贯穿旋转平台,所述旋转轴心位于容纳槽内。
进一步的,所述万向架包括竖杆、横杆、第一固定块以及第二固定块,所述竖杆一端与底座相固定,另一端与第一固定块滑动连接;所述横杆一端与第一固定块滑动连接,另一端与第二固定块滑动连接,所述第二固定块与单筒式显微镜相固定,所述第二固定块的延伸方向与单筒式显微镜的镜头延伸方向呈预定的夹角。
进一步的,所述调节件包括第一调节杆、调节块以及第二调节杆,所述第一调节杆竖直固定在底座上,所述第一调节杆与万向架位于底座的同一侧,所述第一调节杆远离底座的端部滑动连接有调节块,所述调节块水平滑动连接有第二调节杆,所述第二调节杆的端部与红外线发生器相固定。
进一步的,所述竖杆、横杆、第一调节杆以及第二调节杆均为圆杆。
进一步的,所述单筒式显微镜为带有CCD的单筒式显微镜,所述带有CCD的单筒式显微镜电性连接有显示终端,所述显示终端搭载有用于测量产品四面爬胶高度的测量软件。
本实用新型的有益效果为:
1、红外线发生器起到定位的作用,使得产品能够落入单筒式显微镜5的视野范围内;单筒式显微镜不仅可以替代裸眼进行观察,还可以代替垂直式体视显微镜,便于工作人员观察产品四面爬胶情况,提高测量数据的精确度;万向架可以在产品保持不动的情况下,改变单筒式显微镜的角度与位置,使得单筒式显微镜可以对产品进行多维度的观察;旋转平台可以替代人手转动产品,可以精准控制变量,减少旋转过程中,产品出现位置偏差,从而提高了一种测量半导体封装同颗芯片四面爬胶高度的装置的测量精准度;
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