[实用新型]一种载板位置检测装置

权利要求书

1.一种载板位置检测装置，其特征在于：它包括穿设固定于真空腔室壁面上的固定管座组件、设于固定管座组件外端的反射式激光传感器以及将反射式激光传感器和固定管座组件固定连接以收发进入真空腔室的激光信号的传感安装组件。

2.根据权利要求1所述的载板位置检测装置，其特征在于：所述固定管座组件包括设有内外贯通孔且外端设有固定凸沿的固定管座以及设于固定管座内外端以将固定管座密封固定在真空腔室壁面上的固定密封单元。

3.根据权利要求2所述的载板位置检测装置，其特征在于：所述固定密封单元包括与固定凸沿下端面配合的固定管座密封圈以及设于固定管座内端的固定管座螺纹锁紧件。

4.根据权利要求3所述的载板位置检测装置，其特征在于：所述固定管座螺纹锁紧件包括与固定管座外壁面螺纹配合的固定管座螺母以及设于固定管座螺母与真空腔室壁面之间的固定管座垫片。

5.根据权利要求1-4任意一项所述的载板位置检测装置，其特征在于：所述传感安装组件包括能容反射式激光传感器收发激光信号且与固定管座组件固定连接的传感器安装座以及设于传感器安装座和固定管座组件之间隔绝真空腔室环境的透光窗单元。

6.根据权利要求5所述的载板位置检测装置，其特征在于：所述透光窗单元包括固定连接于传感器安装座和固定管座组件之间压盖信号通孔的压盖、设于压盖下端面与固定管座组件之间的透光密封结构。

7.根据权利要求6所述的载板位置检测装置，其特征在于：所述透光密封结构包括与压盖下端面配合的透光件以及设于透光件下表面和固定管座组件外端面之间的透光窗密封圈。

8.根据权利要求7所述的载板位置检测装置，其特征在于：所述透光密封结构还包括设于压盖与透光件之间的透光窗密封垫圈。