[实用新型]一种载板位置检测装置

说明书

本实用新型涉及一种载板位置检测装置，它包括穿设固定于真空腔室壁面上的固定管座组件、设于固定管座组件外端的反射式激光传感器以及将反射式激光传感器与固定管座组件固定连接以收发进入真空腔室的激光信号的传感安装组件。本实用新型的目的在于提供一种载板位置检测装置，其结构简单，降低设备成本，有效避免碎片等物遮挡的问题，且便于维护。

技术领域

本实用新型涉及一种载板位置检测装置。

背景技术

在制备高效异质结太阳能电池时，PVD(Physical Vapor Deposition，物理气相沉积)工序是非常关键的步骤之一。硅片放置在载板上，载板作为硅片承载传送托盘，输送硅片进入真空腔室进行物理气相沉积，为了保证沉积均匀，需对载板在真空腔室中传动的位置进行检测，以保证硅片准确到达沉积位置。为实现对载板位置的检测，现有的载板检测装置一般采用对射式检测单元，安装在真空腔室上下方，上方为发射单元，下方为接收单元，且需在对应位置设置观察窗以便安装调试。

但硅片会因载板高速传动产生的振动等原因出现破碎，形成的碎片一旦掉落遮挡到载板位置检测装置的接收单元，导致设备报警，需停止设备运转，破真空后取出碎硅片，才能恢复生产，增大了生产成本。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种载板位置检测装置，其结构简单，降低设备成本，有效避免碎片等物遮挡的问题，且便于维护。

本实用新型的目的通过如下技术方案实现：

一种载板位置检测装置，它包括穿设固定于真空腔室壁面上的固定管座组件、设于固定管座组件外端的反射式激光传感器以及将反射式激光传感器与固定管座组件固定连接以收发进入真空腔室的激光信号的传感安装组件。

较之现有技术而言，本实用新型的优点在于：

(1)反射式激光传感器、固定管座组件与传感安装组件三者安装配合，其结构简单，传感器设置于真空腔室外，便于维护，且设置于真空腔室上方有效避免碎片等物遮挡的问题，减少故障率，提供生产效率。

(2)反射式激光传感器，无需如对射式检测单元装置一般采用上下设置结构，观察窗也仅需布置一个，有效降低了设备成本。

(3)利用固定密封单元，能快速锁固固定管座，并有效保证真空腔室的密闭程度。

(4)通过设置透光窗单元，可以将反射式激光传感器与真空腔室的环境相隔绝，便于反射式激光传感器检修，避免沉积物附着在反射式激光传感器上影响收发效果等。

附图说明

图1是本实用新型一种载板位置检测装置的实施例的结构简图。

图2是图1的剖切结构简图。

图3是图1的正视结构简图。

标号说明：固定管座1、固定安装槽11、内外贯通孔12、固定环槽13、固定凸沿14、固定管座垫片2、固定管座螺母3、固定管座密封圈4、压盖5、压盖环槽51、压盖信号通孔52、透光窗密封垫圈6、透光件7、透光窗密封圈8、传感器安装座9、长通孔91、反射式激光传感器10。

具体实施方式

下面结合说明书附图和实施例对本实用新型内容进行详细说明：

如图1至图3所示为本实用新型提供的一种载板位置检测装置的实施例示意图。

一种载板位置检测装置，它包括穿设固定于真空腔室壁面上的固定管座组件、设于固定管座组件外端的反射式激光传感器10以及将反射式激光传感器10和固定管座组件固定连接以收发进入真空腔室的激光信号的传感安装组件。

所述固定管座组件包括设有内外贯通孔12且外端设有固定凸沿13的固定管座1以及设于固定管座1内外端以将固定管座1密封固定在真空腔室壁面上的固定密封单元。