[实用新型]具有除氧化物结构的旋转靶材绑定装置

权利要求书

1.具有除氧化物结构的旋转靶材绑定装置，旋转靶材包括背管和多节环状靶管，绑定装置包括底座、注铟装置和背管安装位，其特征是，还包括硬质波纹片，环状靶管套在背管外的状态下，所述硬质波纹片能以同时接触背管外壁和靶管内壁的方式设在背管与靶管之间的间隙内。

2.根据权利要求1所述的具有除氧化物结构的旋转靶材绑定装置，其特征是，所述硬质波纹片是耐高温的PI/PBI片或者硬质金属片。

3.根据权利要求1所述的具有除氧化物结构的旋转靶材绑定装置，其特征是，硬质波纹片的波纹为连续的两侧外凸的弧形，外凸的最大距离略小于靶材与背管之间的间隙宽度。

4.根据权利要求3所述的具有除氧化物结构的旋转靶材绑定装置，其特征是，所述硬质波纹片在竖向压力下竖向压缩横向外张，从而实现硬质波纹片的弧形边缘与背管外表面和靶管内表面都接触。

5.根据权利要求1所述的具有除氧化物结构的旋转靶材绑定装置，其特征是，弧形硬质波纹片沿竖向呈间隔的波纹段。

6.根据权利要求1所述的具有除氧化物结构的旋转靶材绑定装置，其特征是，所述硬质波纹片为一体成型的弧状板体，弧状板体的弧度与环状靶管的圆弧形状相适应。

7.根据权利要求6所述的具有除氧化物结构的旋转靶材绑定装置，其特征是，所述弧状板体的宽度大于背管的外径。

8.根据权利要求6所述的具有除氧化物结构的旋转靶材绑定装置，其特征是，所述弧状板体的宽度略大于靶管的内径。

9.根据权利要求1所述的具有除氧化物结构的旋转靶材绑定装置，其特征是，包括用于安装在背管上方的铟液容置腔。

10.根据权利要求1所述的具有除氧化物结构的旋转靶材绑定装置，其特征是，还包括罩在旋转靶材外周的外加热结构，外加热结构包括多节环状加热罩和分别安装在各节加热罩内壁的加热管，以及可拆卸地安装在最上层环状加热罩顶部的密封盖。