[实用新型]具有除氧化物结构的旋转靶材绑定装置

说明书

本实用新型涉及磁控溅射靶材制备技术领域，特别涉及一种具有除氧化物结构的旋转靶材绑定装置，其具有硬质波纹片，环状靶管套在背管外的状态下，所述硬质波纹片能以同时接触背管外壁和靶管内壁的方式设在背管与靶管之间的间隙内。该具有除氧化物结构的旋转靶材绑定装置自下而上地注入铟液，且在注入铟液前先将硬质波纹片伸入背管与靶管之间的间隙，利用硬质波纹片的边角刮擦背管外表面和靶管内表面，除去两者上的氧化铟层(或其他氧化物)，提升铟与靶材/背管的贴合率。

技术领域

本实用新型涉及磁控溅射靶材制备技术领域，特别涉及一种具有除氧化物结构的旋转靶材绑定装置。

背景技术

近年来，采用溅射法制备的薄膜材料因其高致密度、优良附着性等优点，受到平面显示器、电子控制器、玻璃镀膜、光学薄膜等行业的青睐。随着上述领域的高速发展，溅射靶材的需求量急剧增加。根据溅射面的形状，靶材通常可分为平面靶材，旋转靶材和异型靶材。平面靶材溅射使用可达到30％～40％，而旋转靶材溅射使用率可达到80％，旋转靶材呈空心圆管状，能够围绕在固定的磁控溅射设备上旋转，可360度均匀刻蚀靶面，这样均匀的使用让靶材表面光滑，减少“结瘤”现象的产生，提升镀膜均匀性，提高靶材的利用率，从而降低镀膜成本，因此旋转靶材是未来发展的一大趋势。

在旋转靶材的制备工艺中，对于无法用喷涂浇筑方式生产的陶瓷靶材和某些金属靶材，需用绑定贴合法(绑定)将需要溅射的靶材与背管绑定。目前绑定方法大多是将直径较大的外管靶材套在直径相对较小的背管上，用金属铟或导电胶等具有良好导电导热性能的焊料填充两者的间隙，将外管靶材和背管焊接。用金属铟绑定的方法需要将铟加热并维持在熔点以上的状态时注入，金属铟容易在空气中氧化，使得铟与靶材/背管的贴合率低。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是：提供一种具有除氧化物结构的旋转靶材绑定装置，其能提升绑定环节中铟与靶材/背管的贴合率。

提供一种具有除氧化物结构的旋转靶材绑定装置，旋转靶材包括背管和多节环状靶管，绑定装置包括底座、注铟装置和背管安装位，还包括硬质波纹片，环状靶管套在背管外的状态下，所述硬质波纹片能以同时接触背管外壁和靶管内壁的方式设在背管与靶管之间的间隙内。

优选地，所述硬质波纹片是耐高温的PI/PBI片或者硬质金属片。

优选地，硬质波纹片的波纹为连续的两侧外凸的弧形，外凸的最大距离略小于靶材与背管之间的间隙宽度。

优选地，所述硬质波纹片在竖向压力下竖向压缩横向外张，从而实现硬质波纹片的弧形边缘与背管外表面和靶管内表面都接触。

优选地，弧形硬质波纹片沿竖向呈间隔的波纹段。

优选地，所述硬质波纹片为一体成型的弧状板体，弧状板体的弧度与环状靶管的圆弧形状相适应。

优选地，所述弧状板体的宽度大于背管的外径。

优选地，所述弧状板体的宽度略大于靶管的内径。

优选地，包括用于安装在背管上方的铟液容置腔。

优选地，还包括罩在旋转靶材外周的外加热结构，外加热结构包括多节环状加热罩和分别安装在各节加热罩内壁的加热管，以及可拆卸地安装在最上层环状加热罩顶部的密封盖。

有益效果：该具有除氧化物结构的旋转靶材绑定装置自下而上地注入铟液，且在注入铟液前先将硬质波纹片伸入背管与靶管之间的间隙，利用硬质波纹片的边角刮擦背管外表面和靶管内表面，除去两者上的氧化铟层(或其他氧化物)，提升铟与靶材/背管的贴合率。

附图说明

图1是本实用新型的旋转靶材的绑定装置的一种实施例的结构示意图。

图2是图1中一种实施例的靶管和背管安装结构的示意图。