[实用新型]一种寻边设备

权利要求书

1.一种寻边设备，其特征在于，包括控制模块，所述控制模块包括控制器；

支撑模块，所述支撑模块包括机架、用于支撑并吸附晶圆的旋转台、以及用于驱动旋转台转动的电机，所述电机固定于机架，并与所述控制器相连；

平边检测器，所述平边检测器设置于机架，并与所述控制器相连，且平边检测器与旋转台回转中心之间具有所设定的间距，使得当晶圆平边在经过平边检测器时，平边检测器从遮挡状态变为未被遮挡状态并产生感应信号。

2.根据权利要求1所述的寻边设备，其特征在于，所述平边检测器与旋转台回转中心之间的间距为L，且L1≤L≤L2，其中，

所述L1为晶圆平边中点与晶圆中心之间的间距，

所述L2为晶圆的半径。

3.根据权利要求1所述的寻边设备，其特征在于，所述平边检测器为距离传感器、光电开关或信号放大器；

和/或，所述控制器为单片机、PLC或嵌入式芯片；

和/或，所述控制模块还包括显示屏，所述显示屏与所述控制器相连，显示屏设置于机箱或所述机架。

4.根据权利要求1-3任一所述的寻边设备，其特征在于，还包括对中模块，所述对中模块包括对称布置于旋转台两侧的夹边机构、以及用于驱动夹边机构直线运动的夹持动力，所述夹边机构的一端分别构造有与晶圆相适配的圆弧形卡口，所述夹持动力与所述控制器相连。

5.根据权利要求4所述的寻边设备，其特征在于，所述圆弧形卡口的半径等于晶圆的半径。

6.根据权利要求4所述的寻边设备，其特征在于，所述夹持动力为气缸、液压缸或电动推杆，

或，还包括传动机构，所述夹持动力为电机，所述电机通过所述传动机构驱动夹边机构运动。

7.根据权利要求4所述的寻边设备，其特征在于，还包括导向机构，所述导向机构包括导向部及与所述导向部相适配的移动部，所述移动部与导向部构成移动副，

所述导向部固定于所述机架，所述移动部固定于所述夹边机构，或，所述移动部固定于所述机架，所述导向部固定于所述夹边机构。

8.根据权利要求7所述的寻边设备，其特征在于，所述导向部为导向槽，所述移动部为与所述导向槽相适配的滑块；

或，所述导向部为导轨，所述移动部为与所述导轨相适配的滑块；

或，所述导向部为导向杆，所述移动部导向块，且所述导向块套设于所述导向杆。

9.根据权利要求1-3任一所述的寻边设备，其特征在于，还包括旋转接头，所述旋转台的上表面构造有气孔，所述电机为空心轴电机，空心轴电机具有空心轴，所述旋转台固定于电机一端的空心轴，并与所述气孔相连通，所述旋转接头固定于电机另一端的空心轴，并用于连接负压管路。

10.根据权利要求9所述的寻边设备，其特征在于，还包括阀门，所述阀门设置于所述负压管路，阀门与所述控制器相连，用于控制负压管路的通/断；

和/或，

还包括用于产生负压的负压器，所述负压器通过负压管路与所述旋转接头相连通，且负压器与所述控制器相连。

11.根据权利要求1-3任一所述的寻边设备，其特征在于，还包括至少两个检测单元，每个检测单元分别用于适配一种尺寸的晶圆，且每个检测单元分别包括晶圆检测器和所述平边检测器，晶圆检测器与所述控制器相连，其中，

每个检测单元中的晶圆检测器分别固定于所述机架，晶圆检测器与旋转台的回转中心之间具有所设定的间距，且各晶圆检测器与旋转台的回转中心之间的间距不同，使得各晶圆检测器分别对应一种尺寸的晶圆，并产生感应信号；

每个检测单元中的平边检测器分别设置于适配对应尺寸晶圆的位置处，用于在检测到对应尺寸晶圆的平边时产生感应信号。