[实用新型]用于刻蚀装置的缓冲构件和刻蚀装置

权利要求书

1.一种用于刻蚀装置的缓冲构件(25)，其特征在于，所述刻蚀装置包括：

腔体(1)，所述腔体(1)内限定出腔室，所述腔体(1)上设有与所述腔室连通的抽真空管路，所述抽真空管路与干泵(26)相连以使所述腔室内保持真空环境，所述抽真空管路和所述干泵(26)均位于所述腔室外，在所述腔室内固定有晶圆(12)；

第一阀体(24)，所述第一阀体(24)设在所述抽真空管路上，且位于所述腔体(1)和所述干泵(26)之间，用于控制所述抽真空管路的通断；

缓冲构件(25)，所述缓冲构件(25)设在所述抽真空管路上，且位于所述腔体(1)和所述第一阀体(24)之间，以在抽真空时减小对所述晶圆(12)的瞬间抽吸作用力。

2.根据权利要求1所述的用于刻蚀装置的缓冲构件(25)，其特征在于，所述缓冲构件(25)包括：

中心支架(29)，所述中心支架(29)固设在所述抽真空管路上，所述中心支架(29)内设有横梁(32)；

密封圈(28)，所述密封圈(28)套设在所述中心支架(29)外周上；

阀片(30)，所述阀片(30)可转动地连接在所述横梁(32)上，所述干泵(26)的抽吸作用可驱动所述阀片(30)在打开位置和关闭位置进行切换；

弹性件(31)，所述弹性件(31)连接在所述阀片(30)和所述横梁(32)之间，在所述阀片(30)处于所述关闭位置时所述弹性件(31)处于自然状态，在所述阀片(30)处于所述打开位置时所述弹性件(31)处于压缩状态。

3.根据权利要求2所述的用于刻蚀装置的缓冲构件(25)，其特征在于，所述横梁(32)包括一个，所述阀片(30)包括第一阀片，所述第一阀片可转动地连接在所述横梁(32)的一侧，所述第一阀片和所述横梁(32)之间设有所述弹性件(31)。

4.根据权利要求3所述的用于刻蚀装置的缓冲构件(25)，其特征在于，所述横梁(32)的另一侧设有封闭片，所述封闭片分别与所述横梁(32)和所述中心支架(29)的内周壁固定相连且封闭住所述另一侧的开口。

5.根据权利要求3所述的用于刻蚀装置的缓冲构件(25)，其特征在于，所述阀片(30)还包括第二阀片，所述第二阀片可转动地连接在所述横梁(32)的另一侧，所述第二阀片和所述横梁(32)之间设有所述弹性件(31)。

6.根据权利要求2所述的用于刻蚀装置的缓冲构件(25)，其特征在于，所述横梁(32)包括多个，所述阀片(30)包括多个，每个所述阀片(30)均可转动地连接在对应的所述横梁(32)上，每个所述阀片(30)和对应的所述横梁(32)之间均设有所述弹性件(31)。

7.根据权利要求6中所述的用于刻蚀装置的缓冲构件(25)，其特征在于，所述阀片(30)的厚度为t，其中1mm≤t≤3mm。

8.根据权利要求7所述的用于刻蚀装置的缓冲构件(25)，其特征在于，所述阀片(30)形成为不锈钢片。

9.根据权利要求8所述的用于刻蚀装置的缓冲构件(25)，其特征在于，所述阀片(30)的打开位置和所述关闭位置之间的夹角为α，其中0°≤α≤60°。

10.一种刻蚀装置，其特征在于，包括根据权利要求1-9中任一项所述的用于刻蚀装置的缓冲构件(25)。