[实用新型]真空用超声波钎焊装置及钎焊设备有效

专利信息
申请号: 202121227172.4 申请日: 2021-06-03
公开(公告)号: CN215034285U 公开(公告)日: 2021-12-07
发明(设计)人: 张曹 申请(专利权)人: 常州井芯半导体设备有限公司
主分类号: B23K1/06 分类号: B23K1/06;B23K1/008;B23K3/08
代理公司: 常州市天龙专利事务所有限公司 32105 代理人: 于雅洁
地址: 213100 江苏省常州市武进区常武中路1*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 真空 超声波 钎焊 装置 设备
【权利要求书】:

1.一种真空用超声波钎焊装置,其特征在于,包括:控制器、密封连接组件以及被所述控制器控制的超声波振动装置,所述超声波振动装置包括依次连接的换能器、变幅杆和烙铁头,所述密封连接组件设置于所述烙铁头外侧且用于与真空腔体密封连接,以使得所述烙铁头能够处于真空环境。

2.根据权利要求1所述的真空用超声波钎焊装置,其特征在于,所述真空用超声波钎焊装置还包括伸缩组件,所述伸缩组件包括伸缩驱动装置、传动组件,所述伸缩驱动装置能够通过所述传动组件带动所述变幅杆沿着预设方向往复移动。

3.根据权利要求2所述的真空用超声波钎焊装置,其特征在于,所述伸缩驱动装置为电机,所述传动组件包括齿轮和传动轴承,所述齿轮连接于所述电机的输出轴,所述传动轴承的内圈套设于所述变幅杆,所述传动轴承的外圈设有齿部,所述齿部与所述齿轮啮合,所述电机工作时,所述齿轮带动所述齿部在所述预设方向往复移动。

4.根据权利要求3所述的真空用超声波钎焊装置,其特征在于,所述密封连接组件包括波纹管和第一真空接头,所述波纹管与所述传动轴承连接,所述第一真空接头与所述波纹管连接,所述第一真空接头用于与真空腔体密封连接,所述烙铁头处于所述波纹管和所述第一真空接头的内侧。

5.根据权利要求1所述的真空用超声波钎焊装置,其特征在于,所述换能器激发的超声波频率为15-100kHz。

6.一种钎焊设备,其特征在于,包括真空腔体和权利要求1-5任一项所述的真空用超声波钎焊装置,所述真空腔体通过所述密封连接组件与所述超声波振动装置连接。

7.根据权利要求6所述的钎焊设备,其特征在于,所述真空腔体包括第二真空接头,所述密封连接组件包括第一真空接头,所述第一真空接头与所述第二真空接头密封连接,所述烙铁头能够在所述第一真空接头内侧伸入所述真空腔体的内部腔室。

8.根据权利要求7所述的钎焊设备,其特征在于,所述第一真空接头通过波纹管与所述烙铁头伸缩连接,使得所述烙铁头相较于所述真空腔体可伸缩,或者是,所述真空腔体的主体与所述第二真空接头可伸缩连接,使得所述真空腔体相较于所述烙铁头可伸缩。

9.根据权利要求6所述的钎焊设备,其特征在于,所述真空腔体内设有工作台,所述工作台处于所述烙铁头下方,所述工作台用于放置待加工的工件。

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