[实用新型]真空用超声波钎焊装置及钎焊设备有效
申请号: | 202121227172.4 | 申请日: | 2021-06-03 |
公开(公告)号: | CN215034285U | 公开(公告)日: | 2021-12-07 |
发明(设计)人: | 张曹 | 申请(专利权)人: | 常州井芯半导体设备有限公司 |
主分类号: | B23K1/06 | 分类号: | B23K1/06;B23K1/008;B23K3/08 |
代理公司: | 常州市天龙专利事务所有限公司 32105 | 代理人: | 于雅洁 |
地址: | 213100 江苏省常州市武进区常武中路1*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 真空 超声波 钎焊 装置 设备 | ||
本申请提供一种真空用超声波钎焊装置及钎焊设备,涉及钎焊技术领域。真空用超声波钎焊装置,包括:控制器以及被控制器控制的超声波振动装置和密封连接组件,超声波振动装置包括依次连接的换能器、变幅杆和烙铁头,密封连接组件设置于烙铁头外侧且用于与真空腔体密封连接,以使得烙铁头能够处于真空环境。本申请中的真空用超声波钎焊装置通过设置密封连接组件,能够实现将超声波振动装置与真空腔体结合形成钎焊设备,并进一步可以应用于真空环境的超声波钎焊,实现了为传感器芯片这类需要真空封装的产品进行无助焊剂钎焊的目的,并且结构简单,利于实现自动化控制。
技术领域
本申请涉及钎焊技术领域,具体而言,涉及一种真空用超声波钎焊装置及钎焊设备。
背景技术
现有的一些钎焊设备虽然能够实现无需助焊剂的锡焊作业,但是对于一些需要在真空下封装的类似传感器芯片这类产品而言,就无法为其提供无助焊剂钎焊。
实用新型内容
本申请的目的在于提供一种真空用超声波钎焊装置,其能够改善现有的需要真空封装的产品依然需要使用助焊剂的问题。
本申请的另外一个目的在于提供一种钎焊设备,其包括上述真空用超声波钎焊装置,其具有该真空用超声波钎焊装置的全部特性。
本申请的实施例是这样实现的:
本申请的实施例提供了一种真空用超声波钎焊装置,包括:控制器、密封连接组件以及被所述控制器控制的超声波振动装置,所述超声波振动装置包括依次连接的换能器、变幅杆和烙铁头,所述密封连接组件设置于所述烙铁头外侧且用于与真空腔体密封连接,以使得所述烙铁头能够处于真空环境。
另外,根据本申请的实施例提供的真空用超声波钎焊装置,还可以具有如下附加的技术特征:
在本申请的可选实施例中,所述真空用超声波钎焊装置还包括伸缩组件,所述伸缩组件包括伸缩驱动装置、传动组件,所述伸缩驱动装置能够通过所述传动组件带动所述变幅杆沿着预设方向往复移动。
在本申请的可选实施例中,所述伸缩驱动装置为电机,所述传动组件包括齿轮和传动轴承,所述齿轮连接于所述电机的输出轴,所述传动轴承的内圈套设于所述变幅杆,所述传动轴承的外圈设有齿部,所述齿部与所述齿轮啮合,所述电机工作时,所述齿轮带动所述齿部在所述预设方向往复移动。
在本申请的可选实施例中,所述密封连接组件包括波纹管和第一真空接头,所述波纹管与所述传动轴承连接,所述第一真空接头与所述波纹管连接,所述第一真空接头用于与真空腔体密封连接,所述烙铁头处于所述波纹管和所述第一真空接头的内侧。
在本申请的可选实施例中,所述换能器激发的超声波频率为15-100kHz。
本申请的实施例提供了一种钎焊设备,包括真空腔体和上述任一项所述的真空用超声波钎焊装置,所述真空腔体通过所述密封连接组件与所述超声波振动装置连接。
在本申请的可选实施例中,所述真空腔体包括第二真空接头,所述密封连接组件包括第一真空接头,所述第一真空接头与所述第二真空接头密封连接,所述烙铁头能够在所述第一真空接头内侧伸入所述真空腔体的内部腔室。
在本申请的可选实施例中,所述第一真空接头通过波纹管与所述烙铁头伸缩连接,使得所述烙铁头相较于所述真空腔体可伸缩,或者是,所述真空腔体的主体与所述第二真空接头可伸缩连接,使得所述真空腔体相较于所述烙铁头可伸缩。
在本申请的可选实施例中,所述真空腔体内设有工作台,所述工作台处于所述烙铁头下方,所述工作台用于放置待加工的工件。
本申请的有益效果是:
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