[实用新型]一种高性能溅射靶材轧锻一体设备

权利要求书

1.一种高性能溅射靶材轧锻一体设备，包括工作主体(1)和安装机构(2)，其特征在于：所述工作主体(1)的内部设置有安装机构(2)；

所述安装机构(2)包括固定杆(211)、旋钮(201)和通槽(210)，所述旋钮(201)的左侧设置有主动杆(202)，所述主动杆(202)的外表面设置有主动轮(203)，所述主动轮(203)的外表面设置有从动轮(204)，所述从动轮(204)的外表面设置有传导轮(205)，所述传导轮(205)的内部设置有固定套筒(213)，所述固定套筒(213)的外表面设置有控制轮(206)，所述控制轮(206)的外表面设置有移动齿条(207)，所述移动齿条(207)的外表面设置有移动杆(208)，所述移动杆(208)的外表面设置有移动夹持块(209)，所述移动杆(208)通过通槽(210)延伸至工作主体(1)的外部，所述固定杆(211)设置于工作主体(1)的外表面，所述固定杆(211)的右端设置有固定夹持块(212)。

2.根据权利要求1所述的一种高性能溅射靶材轧锻一体设备，其特征在于：所述工作主体(1)包括安装台(101)，所述安装台(101)的顶部固定安装有支脚(102)，所述支脚(102)的顶部固定安装有机体(103)，所述固定杆(211)固定安装于机体(103)的外表面。

3.根据权利要求2所述的一种高性能溅射靶材轧锻一体设备，其特征在于：所述安装台(101)的顶端加工有固定槽，所述固定槽与支脚(102)相适配。

4.根据权利要求1所述的一种高性能溅射靶材轧锻一体设备，其特征在于：所述固定套筒(213)的分为内轴和套筒，内轴部分与机体(103)固定连接，套筒部分可以旋转。

5.根据权利要求1所述的一种高性能溅射靶材轧锻一体设备，其特征在于：所述主动杆(202)与机体(103)螺纹连接，所述主动杆(202)贯穿机体(103)并延伸至外部。

6.根据权利要求2所述的一种高性能溅射靶材轧锻一体设备，其特征在于：所述移动齿条(207)的外表面固定安装有滑块，所述机体(103)的空腔加工有滑槽，所述滑块与滑槽相适配。

7.根据权利要求1所述的一种高性能溅射靶材轧锻一体设备，其特征在于：所述移动夹持块(209)的形状为半圆形，所述固定夹持块(212)与移动夹持块(209)形状、大小均一致。