[实用新型]一种高性能溅射靶材轧锻一体设备

说明书

本实用新型涉及一种高性能溅射靶材轧锻一体设备，包括工作主体和安装机构，所述工作主体的内部设置有安装机构，所述安装机构包括固定杆、旋钮和通槽，所述旋钮的左侧设置有主动杆，所述主动杆的外表面设置有主动轮，所述主动轮的外表面设置有从动轮，所述从动轮的外表面设置有传导轮，所述传导轮的内部设置有固定套筒，所述固定套筒的外表面设置有控制轮，所述控制轮的外表面设置有移动齿条。该高性能溅射靶材轧锻一体设备，通过旋钮控制齿轮带动齿条，继而使得移动夹持块与固定夹持块咬合，使得该装置能够夹持控制箱外表面的安装座，固定控制箱，整个过程无需任何工具，增加工作效率，减少工作难度。

技术领域

本实用新型涉及射靶材轧锻技术领域，具体为一种高性能溅射靶材轧锻一体设备。

背景技术

溅射靶材的要求较传统材料行业高，较溅射靶材主要应用于电子及信息产业，如集成电路、信息存储、液晶显示屏、激光存储器、电子控制器件等；亦可应用于玻璃镀膜领域；还可以应用于耐磨材料、高温耐蚀、高档装饰用品等行业。

目前市场上轧锻一体机虽然具有高性能、低造价、适用性强等优点，但在安装控制箱时，一般使用焊接和螺栓与机体表面连接固定，安装工人需要携带多种工具，安装工具多导致工人需要多次替换使用，费时费力且降低工人的安装效率的问题，故而提出种高性能溅射靶材轧锻一体设备来解决上述问题。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种高性能溅射靶材轧锻一体设备，具备安装方便等优点，解决了费时费力且降低工人的安装效率的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种高性能溅射靶材轧锻一体设备包括工作主体和安装机构，所述工作主体的内部设置有安装机构，所述安装机构包括固定杆、旋钮和通槽，所述旋钮的左侧设置有主动杆，所述主动杆的外表面设置有主动轮，所述主动轮的外表面设置有从动轮，所述从动轮的外表面设置有传导轮，所述传导轮的内部设置有固定套筒，所述固定套筒的外表面设置有控制轮，所述控制轮的外表面设置有移动齿条，所述移动齿条的外表面设置有移动杆，所述移动杆的外表面设置有移动夹持块，所述移动杆通过通槽延伸至工作主体的外部，所述固定杆设置于工作主体的外表面，所述固定杆的右端设置有固定夹持块。

进一步，所述工作主体包括安装台，所述安装台的顶部固定安装有支脚，所述支脚的顶部固定安装有机体，所述固定杆固定安装于机体的外表面。

进一步，所述安装台的顶端加工有固定槽，所述固定槽与支脚相适配。

进一步，所述固定套筒的分为内轴和套筒，内轴部分与机体固定连接，套筒部分可以旋转。

进一步，所述主动杆与机体螺纹连接，所述主动杆贯穿机体并延伸至外部。

进一步，所述移动齿条的外表面固定安装有滑块，所述机体的空腔加工有滑槽，所述滑块与滑槽相适配。

进一步，所述移动夹持块的形状为半圆形，所述固定夹持块与移动夹持块形状、大小均一致。

与现有技术相比，本申请的技术方案具备以下有益效果：

该高性能溅射靶材轧锻一体设备，通过旋钮控制齿轮带动齿条，继而使得移动夹持块与固定夹持块咬合，使得该装置能够夹持控制箱外表面的安装座，固定控制箱，整个过程无需任何工具，增加工作效率，减少工作难度。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型结构右视图；

图3为本实用新型外观图。

图中：1工作主体、101安装台、102支脚、103机体、2安装机构、201旋钮、202主动杆、203主动轮、204从动轮、205传导轮、206控制轮、207移动齿条、208移动杆、209移动夹持块、210通槽、211固定杆、212固定夹持块、213固定套筒。