[实用新型]一种化学气相沉积气体导流机构

权利要求书

1.一种化学气相沉积气体导流机构，其特征在于，包括布气筒(1)、上盖(2)、进气管(3)、支撑件(4)、安装板(5)、安装管(6)、安装柱(9)和分流罩(10)；

布气筒(1)为底端封闭的圆筒结构，布气筒(1)底部均匀设置有多个出气孔(101)；上盖(2)设置在布气筒(1)上端；进气管(3)设置在上盖(2)上，进气管(3)与布气筒(1)连通，进气管(3)位于上盖(2)中部；支撑件(4)设置在布气筒(1)内壁上，支撑件(4)为上下开口且中空的圆台结构，支撑件(4)上均匀设置有多个第一通孔(401)；安装板(5)设置在支撑件(4)上端面，安装板(5)上设置有多个第二通孔(501)；安装管(6)设置在安装板(5)上，安装管(6)位于进气管(3)下方；安装柱(9)卡接在安装管(6)内；分流罩(10)设置在安装柱(9)上端。

2.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积气体导流机构，其特征在于，安装管(6)横向两侧均设置有导向槽(601)，导向槽(601)内壁上绕安装管(6)中心轴旋转设置有限位槽(602)；安装柱(9)底端部横向两侧均设置有限位杆(11)，限位杆(11)与安装管(6)滑动连接，限位杆(11)位于导向槽(601)内或限位槽(602)内。

3.根据权利要求2所述的一种化学气相沉积气体导流机构，其特征在于，还包括复位弹簧(7)和顶块(8)；顶块(8)滑动设置在安装管(6)纵向两侧内壁上；复位弹簧(7)设置在安装板(5)上，复位弹簧(7)位于安装管(6)内，复位弹簧(7)的上端与顶块(8)连接。

4.根据权利要求3所述的一种化学气相沉积气体导流机构，其特征在于，安装管(6)纵向两侧内壁上均设置有滑槽(603)；顶块(8)纵向两侧均设置有滑块(801)，滑块(801)与安装管(6)滑动连接，滑块(801)位于滑槽(603)内。

5.根据权利要求4所述的一种化学气相沉积气体导流机构，其特征在于，滑槽(603)为T形槽状结构，滑块(801)为T形块状结构，滑块(801)与滑槽(603)相适配。

6.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积气体导流机构，其特征在于，上盖(2)外周面上设置有外螺纹，布气筒(1)上端内壁上设置有内螺纹，上盖(2)和布气筒(1)螺纹连接。

7.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积气体导流机构，其特征在于，分流罩(10)为圆锥结构，分流罩(10)底面设置有圆锥槽，安装柱(9)位于分流罩(10)的圆锥槽内。

8.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积气体导流机构，其特征在于，还包括密封垫(12)；密封垫(12)设置在布气筒(1)上端面，密封垫(12)位于布气筒(1)和上盖(2)之间。