[实用新型]一种晶圆贴膜机

权利要求书

1.一种晶圆贴膜机，包括支撑腿(1)，其特征在于：所述支撑腿(1)的顶部固定安装有固定柱(2)，所述固定柱(2)的一侧开设有滑槽(3)，所述滑槽(3)的内部滑动连接有移动块(4)，所述移动块(4)的一侧固定安装有直齿条(5)，所述移动块(4)的另一侧固定安装有第一弹簧(6)，所述第一弹簧(6)的一端固定安装有推动架(7)，所述推动架(7)的一端设置有齿轮盘(8)，所述齿轮盘(8)的顶部开设有安装槽(9)，所述安装槽(9)的内侧壁固定安装有第二弹簧(10)，所述第二弹簧(10)的一端固定安装有夹紧板(11)，所述齿轮盘(8)的一侧设置有固定架(12)，所述固定架(12)的顶部固定安装有电动机(13)，所述电动机(13)的输出端固定安装有薄膜辊(14)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆贴膜机，其特征在于：所述薄膜辊(14)的两端转动连接在固定架(12)的一侧，所述薄膜辊(14)之间通过皮带传动连接，所述固定架(12)的顶部一侧固定安装有电动伸缩杆(15)，所述电动伸缩杆(15)的伸出端固定安装有橡胶压盘(16)。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆贴膜机，其特征在于：所述固定架(12)的一侧固定安装有支撑座(17)，所述支撑座(17)的内部固定安装有驱动电机(18)，所述驱动电机(18)的输出端固定安装有主动齿轮(19)，所述主动齿轮(19)的外侧啮合有从动齿轮，所述从动齿轮的顶部固定安装有转动块(20)。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆贴膜机，其特征在于：所述从动齿轮的轴心处转动连接有支撑柱(21)，所述支撑柱(21)的底部固定安装有支撑板(22)，所述支撑板(22)的一侧固定安装在固定架(12)的一侧，所述转动块(20)的一侧固定安装有固定座(23)。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆贴膜机，其特征在于：所述固定座(23)的内部固定安装有第一伺服电机(24)，所述第一伺服电机(24)的输出端固定安装有转动柱(25)，所述转动柱(25)的一端固定安装有吸盘(26)，所述吸盘(26)的高度与橡胶压盘(16)的高度相适配，所述吸盘(26)的一侧固定安装有导气管，所述导气管的外侧固定安装有控制阀。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆贴膜机，其特征在于：所述固定柱(2)的顶部固定安装有安装座(27)，所述安装座(27)的内部固定安装有第二伺服电机(28)，所述第二伺服电机(28)的输出端固定安装有直齿轮(29)，所述直齿轮(29)的外侧啮合在直齿条(5)，所述推动架(7)的一端转动连接在移动块(4)的一侧，所述齿轮盘(8)的轴心处转动连接有支座(30)，所述推动架(7)的一端位于齿轮盘(8)所开设的齿槽内部。