[实用新型]一种晶圆贴膜机

说明书

本实用新型公开了一种晶圆贴膜机，涉及晶圆贴膜机技术领域，具体为一种晶圆贴膜机，包括支撑腿，所述支撑腿的顶部固定安装有固定柱，所述固定柱的一侧开设有滑槽，所述滑槽的内部滑动连接有移动块，所述移动块的一侧固定安装有直齿条。该晶圆贴膜机,通过通过第二弹簧和夹紧板的设置，使该晶圆贴膜机具备了对不同直径的晶圆进行固定，并且可以对多种晶圆进行贴膜的效果，通过滑槽、移动块、直齿条、第一弹簧、推动架、齿轮盘、安装槽、第二弹簧和夹紧板的配合设置，在使用的过程中可以对不同直径的晶圆进行固定，从而可以对多种晶圆进行贴膜，从而起到了使用范围广的作用，并且达到了生产成本低的目的。

技术领域

本实用新型涉及晶圆贴膜机技术领域，具体为一种晶圆贴膜机。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能的集成电路产品。

在晶圆生产过程中，需要对成品进行贴膜以进行保护，现有技术一般采用手工贴膜，并且只能对特定直径的晶圆进行贴膜，这种贴膜不仅速度慢，而且人工成本较高，贴膜过程中还易出现偏位、损伤、不平整、有气泡而影响贴膜效果，同时，人工贴膜会因人而异，导致贴膜效率较低，影响产品的使用质量。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种晶圆贴膜机，解决了上述背景技术中提出的问题。

(二)技术方案

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种晶圆贴膜机，包括支撑腿，所述支撑腿的顶部固定安装有固定柱，所述固定柱的一侧开设有滑槽，所述滑槽的内部滑动连接有移动块，所述移动块的一侧固定安装有直齿条，所述移动块的另一侧固定安装有第一弹簧，所述第一弹簧的一端固定安装有推动架，所述推动架的一端设置有齿轮盘，所述齿轮盘的顶部开设有安装槽，所述安装槽的内侧壁固定安装有第二弹簧，所述第二弹簧的一端固定安装有夹紧板，所述齿轮盘的一侧设置有固定架，所述固定架的顶部固定安装有电动机，所述电动机的输出端固定安装有薄膜辊。

可选的，所述薄膜辊的两端转动连接在固定架的一侧，所述薄膜辊之间通过皮带传动连接，所述固定架的顶部一侧固定安装有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的伸出端固定安装有橡胶压盘。

可选的，所述固定架的一侧固定安装有支撑座，所述支撑座的内部固定安装有驱动电机，所述驱动电机的输出端固定安装有主动齿轮，所述主动齿轮的外侧啮合有从动齿轮，所述从动齿轮的顶部固定安装有转动块。

可选的，所述从动齿轮的轴心处转动连接有支撑柱，所述支撑柱的底部固定安装有支撑板，所述支撑板的一侧固定安装在固定架的一侧，所述转动块的一侧固定安装有固定座。

可选的，所述固定座的内部固定安装有第一伺服电机，所述第一伺服电机的输出端固定安装有转动柱，所述转动柱的一端固定安装有吸盘，所述吸盘的高度与橡胶压盘的高度相适配，所述吸盘的一侧固定安装有导气管，所述导气管的外侧固定安装有控制阀。

可选的，所述固定柱的顶部固定安装有安装座，所述安装座的内部固定安装有第二伺服电机，所述第二伺服电机的输出端固定安装有直齿轮，所述直齿轮的外侧啮合在直齿条，所述推动架的一端转动连接在移动块的一侧，所述齿轮盘的轴心处转动连接有支座，所述推动架的一端位于齿轮盘所开设的齿槽内部。

(三)有益效果

本实用新型提供了一种晶圆贴膜机，具备以下有益效果：