[实用新型]真空封装装置

说明书

本实用新型公开的真空封装装置，涉及量子设备领域，包括腔体、上盖、散热片、抽气管和制冷模组，其中，腔体内部中空，被构造为放置制冷模组，上盖被构造为与所述腔体的上表面固定连接，散热片固定设置于腔体的下表面，形成密封装置，抽气管内部中空且固定设置于腔体的外表面，被构造为抽空密封装置内的空气，使得密封装置成为真空密封装置，腔体的表面设置有多个通孔，多个通孔分别被构造为放置抽气管、电极馈通法兰、光纤馈通法兰及SMA连接器，制冷模组固定设置于散热片的上表面及密封装置的内部，被构造为实时驱散单光子探测器工作时产生的热量，使得单光子探测器工作时的温度维持恒定，提高了密封性及单光子探测器的稳定性和探测效率。

技术领域

本实用新型涉及量子设备领域，具体涉及一种真空封装装置。

背景技术

在量子通信、量子计算领域中，通常使用单光子探测器对于量子光进行探测或检测，从而获得量子态所表达或传递的信息。但是，单光子探测器需要在一个恒定温度的低温环境下才能维持正常工作，通常采用灌输气凝胶及胶圈密封的方式将单光子探测器密封在壳体内，此方式的缺点是胶圈随着冷热温差的变化会加速老化并出现漏气现象，从而导致壳体内的温度不稳定，器件结露结霜，容易导致核心器件雪崩二极管的损坏，密封性较差。

实用新型内容

本实用新型实施例提供了一种真空封装装置，用以解决现有技术存在的密封性差、难以清理的缺陷。

为了实现上述目的，本实用新型实施例提供的真空封装装置包括：

腔体，内部中空，被构造为放置制冷模组；

上盖，被构造为与所述腔体的上表面固定连接；

散热片，固定设置于所述腔体的下表面，形成密封装置；

抽气管，内部中空且固定设置于所述腔体的外表面，被构造为利用真空泵抽空所述密封装置内的空气，使得所述密封装置成为真空密封装置；

所述腔体的表面设置有多个通孔，其中，多个所述通孔分别被构造为放置抽气管、电极馈通法兰、光纤馈通法兰及SMA连接器；

制冷模组，固定设置于所述散热片的上表面及所述密封装置的内部，被构造为实时驱散单光子探测器工作时产生的热量，使得所述单光子探测器工作时的温度维持恒定。

作为本实用新型一个优选的实施例，所述腔体的各个侧面分别与所述上盖的边缘部位通过焊接方式固定连接。

作为本实用新型一个优选的实施例，所述腔体与所述散热片之间采用真空钎焊方式固定连接。

作为本实用新型一个优选的实施例，所述制冷模组包括热沉、热电制冷器（ThermoElectric Cooler，简称TEC）和温度传感器，其中，所述温度传感器设置于所述热沉内部的安装孔中，所述热沉固定设置于所述热电制冷器TEC的上表面，所述单光子探测器固定设置于热沉预设的通孔中。

作为本实用新型一个优选的实施例，所述散热片的下表面设置有多个散热槽。

作为本实用新型一个优选的实施例，所述腔体的材质为不锈钢。

作为本实用新型一个优选的实施例，所述上盖的材质为不锈钢。

作为本实用新型一个优选的实施例，所述抽气管的材质为无氧铜。

作为本实用新型一个优选的实施例，所述散热片的材质为铜。

本实用新型实施例提供的真空封装装置具有以下有益效果：

（1）对密封装置做真空处理，提高了密封性，避免了因水蒸气渗入密封装置引起密封装置内部湿度增加导致单光子探测器失效的问题，提高了单光子探测器的稳定性；