[实用新型]一种碳化硅涂层装备

权利要求书

1.一种碳化硅涂层装备，其特征在于：包括气相沉积炉体(1)和收纳箱(16)，所述收纳箱(16)设置在气相沉积炉体(1)的一侧，所述气相沉积炉体(1)内部自下而上设置有坩埚(2)、沉积室(3)、收料盒(4)和导气管(5)，所述沉积室(3)、收料盒(4)、导气管(5)外包覆有加热器(6)，所述加热器(6)外部包覆有保温层(7)，所述保温层(7)的外部包覆有水冷夹套(8)，收料盒(4)上开设有连通沉积室(3)和收料盒(4)的第一通孔(9)，收料盒(4)内部设置有集尘室(10)，所述集尘室(10)的上方盖设有集尘室盖板(11)，集尘室盖板(11)上开设连通集尘室(10)和收料盒(4)的第二通孔(12)。

2.根据权利要求1所述一种碳化硅涂层装备，其特征在于：所述气相沉积炉体(1)的顶部开设有排气孔(13)，所述排气孔(13)与导气管(5)相连通，所述排气孔(13)上安装有环形连接板(14)，在环形连接板(14)上安装有第一导流管(15)，所述第一导流管(15)远离环形连接板(14)的一端延伸至净化液存蓄箱(17)内，所述净化液存蓄箱(17)固定安装在收纳箱(16)的底部内壁上。

3.根据权利要求2所述一种碳化硅涂层装备，其特征在于：所述收纳箱(16)的顶部设有开口，所述收纳箱(16)的两侧内壁上分别固定安装有竖板(18)，竖板(18)上开设有螺栓孔，在两个竖板(18)相互靠近的一侧分别开设有第一凹槽(19)，所述第一凹槽(19)的顶部内壁设有开口；在两个第一凹槽(19)内设置有过滤箱(20)，在过滤箱(20)的底部安装有第二导流管(21)，所述第二导流管(21)的底端延伸至净化液存蓄箱(17)内，所述过滤箱(20)内设置有第一组件。

4.根据权利要求3所述一种碳化硅涂层装备，其特征在于：所述第一组件包括有无纺布过滤层(22)、第一合成纤维过滤层(23)、第二合成纤维过滤层(24)和活性炭过滤层(25)，所述第一合成纤维过滤层(23)固定安装在无纺布过滤层(22)的顶部，所述第二合成纤维过滤层(24)固定安装在第一合成纤维过滤层(23)的顶部，所述活性炭过滤层(25)固定安装在第二合成纤维过滤层(24)的顶部。

5.根据权利要求3所述一种碳化硅涂层装备，其特征在于：所述过滤箱(20)的顶部两端固定安装有连接块(26)，连接块(26)上开设有连接孔，连接孔内设置有螺栓(27)，螺栓(27)穿过连接块(26)与竖板(18)上的螺栓孔螺接。

6.根据权利要求2所述一种碳化硅涂层装备，其特征在于：所述坩埚(2)的顶部开设连通沉积室(3)的第三通孔(34)，所述坩埚(2)的底部固定安装有输气管(28)，所述输气管(28)的顶端固定安装有圆柱块(29)，两个安装管(30)分别固定安装在圆柱块(29)的两侧，两个弯嘴喷头(31)分别固定安装在两个安装管(30)相互远离的一端，两个弯嘴喷头(31)的喷射方向相反。

7.根据权利要求6所述一种碳化硅涂层装备，其特征在于：所述圆柱块(29)的底部开设有第二凹槽(32)，所述第二凹槽(32)内固定安装有密封轴承，所述密封轴承的内圈固定套设在所述输气管(28)上，所述第二凹槽(32)的两侧内壁上均开设有通气孔，两个所述通气孔分别与两个所述安装管(30)相连通，两个所述安装管(30)和所述圆柱块(29)的顶部均开设有多个输气孔(33)。