[实用新型]一种碳化硅涂层装备有效
申请号: | 202121260260.4 | 申请日: | 2021-06-07 |
公开(公告)号: | CN215328348U | 公开(公告)日: | 2021-12-28 |
发明(设计)人: | 韩科选;薛赓 | 申请(专利权)人: | 苏州步科斯新材料科技有限公司 |
主分类号: | C23C16/32 | 分类号: | C23C16/32;C23C16/44 |
代理公司: | 苏州汇智联科知识产权代理有限公司 32535 | 代理人: | 黄晶晶 |
地址: | 215000 江苏省苏州市吴*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 碳化硅 涂层 装备 | ||
1.一种碳化硅涂层装备,其特征在于:包括气相沉积炉体(1)和收纳箱(16),所述收纳箱(16)设置在气相沉积炉体(1)的一侧,所述气相沉积炉体(1)内部自下而上设置有坩埚(2)、沉积室(3)、收料盒(4)和导气管(5),所述沉积室(3)、收料盒(4)、导气管(5)外包覆有加热器(6),所述加热器(6)外部包覆有保温层(7),所述保温层(7)的外部包覆有水冷夹套(8),收料盒(4)上开设有连通沉积室(3)和收料盒(4)的第一通孔(9),收料盒(4)内部设置有集尘室(10),所述集尘室(10)的上方盖设有集尘室盖板(11),集尘室盖板(11)上开设连通集尘室(10)和收料盒(4)的第二通孔(12)。
2.根据权利要求1所述一种碳化硅涂层装备,其特征在于:所述气相沉积炉体(1)的顶部开设有排气孔(13),所述排气孔(13)与导气管(5)相连通,所述排气孔(13)上安装有环形连接板(14),在环形连接板(14)上安装有第一导流管(15),所述第一导流管(15)远离环形连接板(14)的一端延伸至净化液存蓄箱(17)内,所述净化液存蓄箱(17)固定安装在收纳箱(16)的底部内壁上。
3.根据权利要求2所述一种碳化硅涂层装备,其特征在于:所述收纳箱(16)的顶部设有开口,所述收纳箱(16)的两侧内壁上分别固定安装有竖板(18),竖板(18)上开设有螺栓孔,在两个竖板(18)相互靠近的一侧分别开设有第一凹槽(19),所述第一凹槽(19)的顶部内壁设有开口;在两个第一凹槽(19)内设置有过滤箱(20),在过滤箱(20)的底部安装有第二导流管(21),所述第二导流管(21)的底端延伸至净化液存蓄箱(17)内,所述过滤箱(20)内设置有第一组件。
4.根据权利要求3所述一种碳化硅涂层装备,其特征在于:所述第一组件包括有无纺布过滤层(22)、第一合成纤维过滤层(23)、第二合成纤维过滤层(24)和活性炭过滤层(25),所述第一合成纤维过滤层(23)固定安装在无纺布过滤层(22)的顶部,所述第二合成纤维过滤层(24)固定安装在第一合成纤维过滤层(23)的顶部,所述活性炭过滤层(25)固定安装在第二合成纤维过滤层(24)的顶部。
5.根据权利要求3所述一种碳化硅涂层装备,其特征在于:所述过滤箱(20)的顶部两端固定安装有连接块(26),连接块(26)上开设有连接孔,连接孔内设置有螺栓(27),螺栓(27)穿过连接块(26)与竖板(18)上的螺栓孔螺接。
6.根据权利要求2所述一种碳化硅涂层装备,其特征在于:所述坩埚(2)的顶部开设连通沉积室(3)的第三通孔(34),所述坩埚(2)的底部固定安装有输气管(28),所述输气管(28)的顶端固定安装有圆柱块(29),两个安装管(30)分别固定安装在圆柱块(29)的两侧,两个弯嘴喷头(31)分别固定安装在两个安装管(30)相互远离的一端,两个弯嘴喷头(31)的喷射方向相反。
7.根据权利要求6所述一种碳化硅涂层装备,其特征在于:所述圆柱块(29)的底部开设有第二凹槽(32),所述第二凹槽(32)内固定安装有密封轴承,所述密封轴承的内圈固定套设在所述输气管(28)上,所述第二凹槽(32)的两侧内壁上均开设有通气孔,两个所述通气孔分别与两个所述安装管(30)相连通,两个所述安装管(30)和所述圆柱块(29)的顶部均开设有多个输气孔(33)。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
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