[实用新型]一种针座及探针台有效
申请号: | 202121266443.7 | 申请日: | 2021-06-08 |
公开(公告)号: | CN215833435U | 公开(公告)日: | 2022-02-15 |
发明(设计)人: | 颜建武;杨应俊 | 申请(专利权)人: | 矽电半导体设备(深圳)股份有限公司 |
主分类号: | G01R1/04 | 分类号: | G01R1/04;G01R1/067 |
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地址: | 518172 广东省深圳市龙岗区龙城街*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 探针 | ||
1.一种针座,包括探针安装部(20),所述探针安装部(20)用于安装测试探针(30),其特征在于:所述探针安装部(20)设置有限位槽(21),以及沿垂直于限位槽(21)延伸方向设置的锁紧螺纹孔(22);
所述针座(100)还包括与锁紧螺纹孔(22)螺接的锁紧螺杆(40),所述锁紧螺杆(40)的螺帽(41)设置有让位切口(411);在锁紧螺杆(40)拧入锁紧螺纹孔(22)时,测试探针(30)能够经让位切口(411)置入限位槽(21),旋转锁紧螺杆(40)使螺帽(41)抵紧测试探针(30)。
2.根据权利要求1所述的针座(100),其特征在于:所述探针安装部(20)还设置有限位缺口(23),当带有弯折尾部(31)测试探针(30)的支撑部(32)置于限位槽(21),所述弯折尾部(31)能够伸入所述限位缺口(23)。
3.根据权利要求2所述的针座(100),其特征在于:所述弯折尾部(31)沿限位槽(21)延伸方向止抵于限位缺口(23)内壁。
4.根据权利要求3所述的针座(100),其特征在于:所述限位缺口(23)贯穿于探针安装部(20),且沿垂直于限位缺口(23)延伸方向设置有让位侧开口(24)。
5.根据权利要求1所述的针座(100),其特征在于:所述探针安装部(20)用铜或铜合金制成。
6.根据权利要求1所述的针座(100),其特征在于:所述限位槽(21)置入测试探针(30)时,测试探针(30)高出限位槽(21)的距离小于测试探针(30)半径。
7.根据权利要求4所述的针座(100),其特征在于:所述让位侧开口(24)的高度小于探针安装部(20)厚度的一半。
8.根据权利要求1所述的针座(100),其特征在于:所述锁紧螺杆(40)的让位切口(411)有且仅有一个。
9.根据权利要求1所述的针座(100),其特征在于:所述让位切口(411)与锁紧螺杆(40)的螺接部(42)外径齐平。
10.一种探针台,其特征在于:所述探针台设置有如权利要求1-9任意一项所述的针座(100)。
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