[实用新型]一种压电陶瓷式针座及探针台

权利要求书

1.一种压电陶瓷式针座，用于对芯粒进行扎针测试；所述压电陶瓷式针座包括基部和探针部，所述探针部用于安装对芯粒进行测试的探针，其特征在于：所述探针部通过压电陶瓷驱动器连接于基部；并在垂直于压电陶瓷驱动器分别连接于探针部和基部的连线方向，对压电陶瓷驱动器连接有电信号；通过对所述压电陶瓷驱动器的电信号控制，实现对探针部相对基部运动的控制，使探针止抵芯粒/远离芯粒。

2.根据权利要求1所述的压电陶瓷式针座，其特征在于：所述压电陶瓷驱动器连接的电信号两个电极分别位于压电陶瓷驱动器对应的两侧，使压电陶瓷驱动器在电信号的控制下沿直线方向做伸缩运动。

3.根据权利要求1所述的压电陶瓷式针座，其特征在于：所述压电陶瓷驱动器连接的电信号对应两个电极，一个电极位于压电陶瓷驱动器一侧，另一个电极位于压电陶瓷驱动器中部，使压电陶瓷驱动器在电信号的控制下沿弧线方向做伸缩运动。

4.根据权利要求1所述的压电陶瓷式针座，其特征在于：所述压电陶瓷驱动器通过导电银浆分别与基部和探针部连接。

5.根据权利要求1所述的压电陶瓷式针座，其特征在于：所述探针部包括悬臂部、针夹和探针，所述悬臂部连接于压电陶瓷驱动器；所述探针固定于针夹；所述针夹与悬臂部连接；所述探针与悬臂部绝缘断开。

6.根据权利要求5所述的压电陶瓷式针座，其特征在于：所述悬臂部水平设置且在悬臂部上侧和下侧的至少一侧设置有应变片，所述应变片用于检测悬臂部的变形。

7.根据权利要求6所述的压电陶瓷式针座，其特征在于：沿垂直于悬臂部延伸方向且垂直于探针运动方向，所述悬臂部设置有贯通孔。

8.根据权利要求7所述的压电陶瓷式针座，其特征在于：所述探针沿竖直方向运动。

9.根据权利要求1所述的压电陶瓷式针座，其特征在于：所述压电陶瓷驱动器为两个，两个压电陶瓷驱动器相互远离设置且其运动方向相反，实现探针部相对于基部的弧形运动控制。

10.根据权利要求1-9任意一项所述的压电陶瓷式针座，其特征在于：所述基部和探针部之间设置有连接弹片。

11.一种探针台，用于测试芯粒，其特征在于：所述探针台设置有如权利要求1-10任意一项所述的压电陶瓷式针座。