[实用新型]一种压电陶瓷式针座及探针台

说明书

本实用新型涉及一种压电陶瓷式针座及探针台。所述压电陶瓷式针座用于对芯粒进行扎针测试；所述压电陶瓷式针座包括基部和探针部，所述探针部用于安装对芯粒进行测试的探针，所述探针部通过压电陶瓷驱动器连接于基部；并在垂直于压电陶瓷驱动器分别连接于探针部和基部的连线方向，对压电陶瓷驱动器连接有电信号；通过对所述压电陶瓷驱动器的电信号控制，实现对探针部相对基部运动的控制，使探针止抵芯粒/远离芯粒；所述探针台设置有所述压电陶瓷式针座。探针的运动控制精度高，针痕一致性稳定，芯粒测试结果准确可靠。

技术领域

本实用新型涉及一种压电陶瓷式针座及探针台。

背景技术

接触式芯粒测试场合，需要通过控制探针的运动实现探针止抵/远离芯粒，探针止抵芯粒时连通电信号实现对芯粒的检测；常规探针的控制采用电机控制，电机控制的结构存在整个结构重，精度低；且探针对芯粒的作用力不稳定，最终导致芯粒上针痕不一致，造成最终测试结构精确度相对较低的问题。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型提出一种用压电陶瓷驱动器替代常规电机驱动探针运动的结构，即一种压电陶瓷式针座及探针台。

本实用新型的技术方案为：一种压电陶瓷式针座，用于对芯粒进行扎针测试；所述压电陶瓷式针座包括基部和探针部，所述探针部用于安装对芯粒进行测试的探针，所述探针部通过压电陶瓷驱动器连接于基部；并在垂直于压电陶瓷驱动器分别连接于探针部和基部的连线方向，对压电陶瓷驱动器连接有电信号；通过对所述压电陶瓷驱动器的电信号控制，实现对探针部相对基部运动的控制，使探针止抵芯粒/远离芯粒。

进一步的，所述压电陶瓷驱动器连接的电信号两个电极分别位于压电陶瓷驱动器对应的两侧，使压电陶瓷驱动器在电信号的控制下沿直线方向做伸缩运动。

进一步的，所述压电陶瓷驱动器连接的电信号对应两个电极，一个电极位于压电陶瓷驱动器一侧，另一个电极位于压电陶瓷驱动器中部，使压电陶瓷驱动器在电信号的控制下沿弧线方向做伸缩运动。

进一步的，所述压电陶瓷驱动器通过导电银浆分别与基部和探针部连接。

进一步的，所述探针部包括悬臂部、针夹和探针，所述悬臂部连接于压电陶瓷驱动器；所述探针固定于针夹；所述针夹与悬臂部连接；所述探针与悬臂部绝缘断开。

进一步的，所述悬臂部水平设置且在悬臂部上侧和下侧的至少一侧设置有应变片，所述应变片用于检测悬臂部的变形。

进一步的，沿垂直于悬臂部延伸方向且垂直于探针运动方向，所述悬臂部设置有贯通孔。

进一步的，所述探针沿竖直方向运动。

进一步的，所述压电陶瓷驱动器为两个，两个压电陶瓷驱动器相互远离设置且其运动方向相反，实现探针部相对于基部的弧形运动控制。

一种探针台，用于测试芯粒，所述探针台设置有上述的压电陶瓷式针座。

本实用新型的有益效果在于：探针的运动控制精度高，针痕一致性稳定，芯粒测试结果准确可靠。

附图说明

图1为本实用新型压电陶瓷式针座实施例一；

图2为本实用新型压电陶瓷式针座实施例二；

图3为本实用新型压电陶瓷式针座实施例三；

图4为本实用新型压电陶瓷式针座实施例四；

图5为本实用新型压电陶瓷式针座实施例五；

图6为本实用新型探针部结构示意图。

具体实施方式

为便于本领域技术人员理解本实用新型的技术方案，下面将本实用新型的技术方案结合具体实施例作进一步详细的说明。