[实用新型]一种用于实现双面激光直写光刻的装置

权利要求书

1.一种用于实现双面激光直写光刻的装置，其特征在于，包括：用于支撑衬底的支架主体、用于限制衬底X方向位移的X方向调节螺丝、用于限制衬底Y方向位移的Y方向调节螺丝以及用于限制衬底Z方向位移的Z方向调节螺丝，

所述支架主体由一底面及设置在所述底面上的边框构成，并且在所述边框内侧沿边框具有阶梯部，所述阶梯部用于支撑衬底并限制衬底Z方向向下的自由度，所述衬底与所述支架主体通过间隙配合安装在一起，

所述X方向调节螺丝设置于所述支架主体的纵向边框上，其螺杆下表面部分与阶梯部接触，

所述Y方向调节螺丝设置于所述支架主体的横向边框上，其螺杆下表面部分与阶梯部接触，

所述支架主体的横向边框及纵向边框连接处还具有向外延伸的角部，所述Z方向调节螺丝设置于所述角部，所述Z方向调节螺丝的螺杆部分垂直于底面并靠近阶梯部。

2.根据权利要求1所述的用于实现双面激光直写光刻的装置，其特征在于，所述X方向调节螺丝、所述Y方向调节螺丝和所述Z方向调节螺丝为弹性材质。

3.根据权利要求2所述的用于实现双面激光直写光刻的装置，其特征在于，所述X方向调节螺丝、所述Y方向调节螺丝和所述Z方向调节螺丝为橡胶材质。

4.根据权利要求3所述的用于实现双面激光直写光刻的装置，其特征在于，所述Z方向调节螺丝运用螺丝头实现对衬底Z方向向上自由度的控制，从而配合所述支架主体对Z方向约束力进行调控。