[实用新型]一种多功能晶圆贴膜撕膜一体化装置

权利要求书

1.一种多功能晶圆贴膜撕膜一体化装置，包括箱体(1)，其特征在于：所述箱体(1)的内侧壁中部固定连接有固定块(2)，所述固定块(2)将箱体(1)的内部从上往下依次分割成上空腔和下空腔，所述上空腔的内部设置有撕膜结构(3)，所述下空腔的内部设置有贴膜结构(4)，所述上空腔和下空腔的内底壁均固定连接有平台，所述平台的上表面开设有滑动槽，所述滑动槽的内侧壁固定连接有弹簧(5)，所述弹簧(5)的一端固定连接有限位板(6)，所述限位板(6)与滑动槽滑动连接，所述撕膜结构(3)包括伺服电机(301)、撕膜电动伸缩杆(302)、撕膜轮(303)和卡块(304)，所述上空腔的内顶壁固定连接有上级滑轨(7)，所述上级滑轨(7)的一侧面通过滑槽滑动连接有上级滑板(8)，所述上级滑板(8)的下表面与撕膜电动伸缩杆(302)固定连接，所述撕膜电动伸缩杆(302)的活动端端面与卡块(304)固定连接，所述箱体(1)的外侧面设置有玻璃(21)。

2.根据权利要求1所述的一种多功能晶圆贴膜撕膜一体化装置，其特征在于：所述上空腔的内顶壁靠近边缘的位置与伺服电机(301)固定连接，所述伺服电机(301)的输出端固定连接有主级锥齿轮(9)，所述主级锥齿轮(9)的一侧面啮合有从级锥齿轮(10)，所述从级锥齿轮(10)的内壁固定连接有转动杆(11)。

3.根据权利要求2所述的一种多功能晶圆贴膜撕膜一体化装置，其特征在于：所述转动杆(11)的外侧面与上级滑板(8)螺纹连接，所述转动杆(11)的两端均通过轴承与上空腔的内侧壁固定连接，所述卡块(304)的一侧面开设有放置槽，所述放置槽的内壁转动连接有短杆，所述短杆的外侧面与撕膜轮(303)固定连接，所述放置槽的一侧通过螺栓固定连接有挡板(12)。

4.根据权利要求1所述的一种多功能晶圆贴膜撕膜一体化装置，其特征在于：所述贴膜结构(4)包括伺服电动机(401)、传动夹板(402)、固定夹板(403)、和膜桶(404)，所述下空腔的内顶壁固定连接有滑道(13)，所述滑道(13)的一侧滑动连接有下级滑板(14)，所述下级滑板(14)的下表面与传动夹板(402)固定连接，所述下空腔的内顶壁一侧与固定夹板(403)固定连接。

5.根据权利要求4所述的一种多功能晶圆贴膜撕膜一体化装置，其特征在于：所述下空腔的内侧壁通过短轴与膜通转动连接，所述下空腔的内顶壁另一侧与伺服电动机(401)固定连接，伺服电动机(401)的输出端通过联轴器固定连接有螺杆(15)，所述螺杆(15)的一端通过轴承与固定夹板(403)固定连接。

6.根据权利要求5所述的一种多功能晶圆贴膜撕膜一体化装置，其特征在于：所述螺杆(15)的外侧面与下级滑板(14)螺纹连接，所述下级滑板(14)的下表面固定连接有固定柱(16)，所述固定柱(16)和固定夹板(403)的一侧均固定连接有升降电动伸缩杆(17)，所述升降电动伸缩杆(17)的活动端端面固定连接有挤压板(18)，所述下空腔的内侧壁通过横向电动伸缩杆固定连接有切割刀(19)。