[实用新型]一种光刻窗口晶片夹持专用工具有效
| 申请号： | 202121279785.2 | 申请日： | 2021-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN214705894U | 公开（公告）日： | 2021-11-12 |
| 发明（设计）人： | 苏日;孟凡毅;周如永;徐建民;丁洁;张立强;杨铁生;郑玉南;王玉会;狄建兴;张梦营;陈永宏;郝建军 | 申请（专利权）人： | 唐山国芯晶源电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/687 | 分类号： | H01L21/687 |
| 代理公司： | 石家庄冀科专利商标事务所有限公司 13108 | 代理人： | 雷秋芬 |
| 地址： | 064100 河北*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 窗口 晶片 夹持 专用工具 | ||
1.一种光刻窗口晶片夹持专用工具，其特征是，它由手持部（1）和夹持部（2）组成；所述手持部（1）设置上下两组金属弹片，上下两组金属弹片一端焊接在一起，另一端呈一定夹角延伸并与夹持部（2）连接；所述夹持部（2）设有压板（2-1）和托板（2-2），所述压板（2-1）和托板（2-2）分别位于两组金属弹片的下方，其横截面呈L型折边结构，其中压板（2-1）与手持部（1）的上面一组金属弹片连接，托板（2-2）与手持部（1）的下面一组金属弹片连接，压板（2-1）L型折边结构的水平面尺寸小于托板（2-2）L型折边结构的水平面尺寸，可通过压板（2-1）与托板（2-2）的配合将晶片（3）夹持在两者L型折边结构的水平面之间。
2.根据权利要求1所述的光刻窗口晶片夹持专用工具，其特征是，所述夹持部（2）的压板（2-1）和托板（2-2）的水平面为与晶片（3）外缘相匹配的圆弧形状。
3.根据权利要求2所述的光刻窗口晶片夹持专用工具，其特征是，在所述夹持部（2）的压板（2-1）和托板（2-2）外面包覆弹性护套（2-3）。
4.根据权利要求1或2或3所述的光刻窗口晶片夹持专用工具，其特征是，在所述夹持部（2）的托板（2-2）上设有晶片定位槽（2-2-1），所述晶片定位槽（2-2-1）位于托板（2-2）L型折边结构的竖直面上。
5.根据权利要求4所述的光刻窗口晶片夹持专用工具，其特征是，在所述夹持部（2）的托板（2-2）前端设置楔形插入导向面（2-2-2）。
6.根据权利要求3所述的光刻窗口晶片夹持专用工具，其特征是，所述手持部（1）上下两组金属弹片为不锈钢材质，在上下两组金属弹片的外侧表面设置防滑纹理（1-1）。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
