[实用新型]一种晶圆贴合防摔治具

权利要求书

1.一种晶圆贴合防摔治具，其特征在于，包括晶圆固定件和旋转固定架，所述晶圆固定件固定在所述旋转固定架上，所述晶圆固定件包括固定件本体、防摔落挡杆及箍环，所述固定件本体的中部开设有容置槽，所述容置槽的槽壁处设有卡缘，所述箍环卡接在所述卡缘上，所述防摔落挡杆转动连接在所述固定件本体上并在所述容置槽的槽口位置上活动。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆贴合防摔治具，其特征在于，所述晶圆固定件上设有若干个定位块，所述定位块设置在所述容置槽的槽口处并压合所述箍环。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆贴合防摔治具，其特征在于，所述容置槽的槽壁处凹设有若干个取件位。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆贴合防摔治具，其特征在于，所述晶圆固定件上设有防滑落围栏，所述防滑落围栏沿着所述容置槽的槽口边缘设置。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆贴合防摔治具，其特征在于，所述防摔落挡杆转动连接在所述防滑落围栏上。

6.根据权利要求4所述的一种晶圆贴合防摔治具，其特征在于，所述防滑落围栏靠近所述容置槽的侧面上设有防静电海绵。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆贴合防摔治具，其特征在于，所述防摔落挡杆包括挡杆杆体和防摔落支撑块，所述防摔落支撑块固定在所述挡杆杆体的端部上，所述防摔落支撑块设有防静电海绵。

8.根据权利要求1所述的一种晶圆贴合防摔治具，其特征在于，所述箍环包括内箍环和外箍环，所述外箍环卡扣在所述内箍环上。

9.根据权利要求1所述的一种晶圆贴合防摔治具，其特征在于，所述旋转固定架包括固定架主体、第一连动杆、第二连杆及旋转部件，所述第一连动杆活动套接在所述固定架主体上，所述第二连杆与所述第一连动杆转动连接，所述旋转部件与所述第二连杆转动连接。

10.根据权利要求9所述的一种晶圆贴合防摔治具，其特征在于，所述旋转部件包括旋转座和旋转块，所述旋转块转动连接在所述旋转座上，所述晶圆固定件固定在所述旋转块上。