[实用新型]一种高频感应单晶炉冷却系统

权利要求书

1.一种高频感应单晶炉冷却系统，包括炉体(1)，其特征在于：所述炉体(1)内侧固定连接有保温层(7)，所述保温层(7)包裹在内壳(3)的外侧，所述内壳(3)外表面焊接有空心管(2)，所述空心管(2)的进气口延伸到管道(8)的内部，所述内壳(3)与保温层(7)之间构成冷却层，所述冷却层顶端右侧固定连接有出水管(4)，所述冷却层右侧底端固定连接有进水管(11)，所述炉体(1)两侧均环绕连接有冷却管(5)，所述冷却管(5)底端焊接有连接管(6)，所述冷却管(5)底端螺纹连接有雾化喷头(10)，所述炉体(1)外表面喷涂有加强层(12)，所述加强层(12)外表面涂覆有耐磨层(13)，所述耐磨层(13)外表面喷涂有散热层(14)，所述散热层(14)表面粘接有防划膜(15)，所述空心管(2)的进气口延伸到出气管(16)的内部，所述炉体(1)底端贯穿连接有进气管(18)，所述冷却管(5)外侧固定连接有水管(17)。

2.根据权利要求1所述的一种高频感应单晶炉冷却系统，其特征在于：所述管道(8)两端均焊接有空心管(2)，所述连接管(6)两端均焊接有冷却管(5)。

3.根据权利要求1所述的一种高频感应单晶炉冷却系统，其特征在于：所述冷却管(5)位于卡件(9)的内侧，所述卡件(9)螺纹连接有炉体(1)。

4.根据权利要求1所述的一种高频感应单晶炉冷却系统，其特征在于：所述耐磨层(13)的材质为聚四氟乙烯，所述防划膜(15)的材质为聚氨酯。

5.根据权利要求1所述的一种高频感应单晶炉冷却系统，其特征在于：所述进气管(18)与空心管(2)互通，所述水管(17)的进气口延伸到冷却管(5)的内部。