[实用新型]一种高频感应单晶炉冷却系统

说明书

本实用新型公开了一种高频感应单晶炉冷却系统，包括炉体，所述炉体内侧固定连接有保温层，所述保温层包裹在内壳的外侧，所述内壳外表面焊接有空心管，所述空心管的进气口延伸到管道的内部，所述内壳与保温层之间构成冷却层，所述冷却层顶端右侧固定连接有出水管，所述冷却层右侧底端固定连接有进水管，所述炉体两侧均环绕连接有冷却管，所述冷却管底端焊接有连接管，所述冷却管底端螺纹连接有雾化喷头，所述炉体外表面喷涂有加强层，所述加强层外表面涂覆有耐磨层。持续输送到空心管内的空气与水配合对炉体内冷却，冷却管与散热层配合对炉体外冷却，冷却效果好；炉体外侧喷涂的加强层、耐磨层等配合提高炉体的强度和防划能力，避免其表面划损。

技术领域

本实用新型涉及一种高频感应单晶炉冷却系统，具体为一种高频感应单晶炉冷却系统，属于单晶炉技术领域。

背景技术

单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用利用电磁感应原理加热将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。

专利号CN 210974932 U的公布了一种单晶炉的冷却系统，炉体的侧壁包括有能对炉体冷却的第一冷却层，第一冷却层包括有左冷却层和右冷却层，左冷却层位于炉体的左半侧壁，左半侧壁内设置有第一导流板和第二导流板，使得冷却水经过第一导流板和第二导流板时能够全方位的对炉体进行冷却降温，降温效果好；同时炉体的底部设置有能对炉体底部进行冷却降温的第二冷却层，通过对炉体的侧壁和炉体的底部进行双重冷却，可使炉体的表面温度接近人体的表面温度，可用手直接触摸，不会对人体造成伤害；右冷却层位于炉体的右半侧壁，右半侧壁内设置有第三导流板和第四导流板，使得冷却水进入炉体的右半侧壁时会不断改变流经方向，对炉体的右半侧壁进行全方位的冷却。

现有技术的单晶炉有以下缺点：1、单晶炉加工后整体温度较高，现有单晶炉的冷却效果差，冷却一定时间后炉体表面温度仍较高，影响使用；2、炉体表面易与外界物体接触碰撞造成划损，影响炉体使用，因此，针对上述问题进行改进。

实用新型内容

本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种高频感应单晶炉冷却系统，持续输送到空心管内的空气与水配合对炉体内冷却，冷却管与散热层配合对炉体外冷却，冷却效果好；炉体外侧喷涂的加强层、耐磨层等配合提高炉体的强度和防划能力，避免其表面划损。

本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的，一种高频感应单晶炉冷却系统，包括炉体，所述炉体内侧固定连接有保温层，所述保温层包裹在内壳的外侧，所述内壳外表面焊接有空心管，所述空心管的进气口延伸到管道的内部，所述内壳与保温层之间构成冷却层，所述冷却层顶端右侧固定连接有出水管，所述冷却层右侧底端固定连接有进水管，所述炉体两侧均环绕连接有冷却管，所述冷却管底端焊接有连接管，所述冷却管底端螺纹连接有雾化喷头，所述炉体外表面喷涂有加强层，所述加强层外表面涂覆有耐磨层，所述耐磨层外表面喷涂有散热层，所述散热层表面粘接有防划膜，所述空心管的进气口延伸到出气管的内部，所述炉体底端贯穿连接有进气管，所述冷却管外侧固定连接有水管。

优选的，所述管道两端均焊接有空心管，所述连接管两端均焊接有冷却管。

优选的，所述冷却管位于卡件的内侧，所述卡件螺纹连接有炉体。

优选的，所述耐磨层的材质为聚四氟乙烯，所述防划膜的材质为聚氨酯。

优选的，所述进气管与空心管互通，所述水管的进气口延伸到冷却管的内部。

本实用新型的有益效果是：