[实用新型]一种吸附太阳能硅片的吸盘有效
| 申请号： | 202121289810.5 | 申请日： | 2021-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN214848565U | 公开（公告）日： | 2021-11-23 |
| 发明（设计）人： | 吕群锋;施鲁鸣;孔剑雷 | 申请（专利权）人： | 嘉兴市耐思威精密机械有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683;H01L31/18 |
| 代理公司： | 杭州九洲专利事务所有限公司 33101 | 代理人： | 王之怀;王洪新 |
| 地址： | 314031 浙江省嘉兴*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 吸附 太阳能 硅片 吸盘 | ||
【权利要求书】：
1.一种吸附太阳能硅片的吸盘，包括第一侧面(101)开设有气流槽(102)的吸盘本体(1)以及设置成平板状且盖合在吸盘本体的第一侧面以封闭气流槽的盖板(2)；其特征在于：所述盖板上设置有若干吸附小孔(201)，以便吸附太阳能硅片(4)；所述吸附小孔的位置与气流槽的位置相对应。
2.根据权利要求1所述的吸附太阳能硅片的吸盘，其特征在于：所述盖板的吸附面与吸盘本体的第一侧面相重合。
3.根据权利要求2所述的吸附太阳能硅片的吸盘，其特征在于：所述吸盘本体的第一侧面开设有位于气流槽开口周围的凹台(103)，以容纳盖板；所述凹台的深度与盖板的厚度相同。
4.根据权利要求3所述的吸附太阳能硅片的吸盘，其特征在于：所述盖板与吸盘本体通过胶水固定连接。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
