[实用新型]一种吸附太阳能硅片的吸盘有效
申请号: | 202121289810.5 | 申请日: | 2021-06-09 |
公开(公告)号: | CN214848565U | 公开(公告)日: | 2021-11-23 |
发明(设计)人: | 吕群锋;施鲁鸣;孔剑雷 | 申请(专利权)人: | 嘉兴市耐思威精密机械有限公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683;H01L31/18 |
代理公司: | 杭州九洲专利事务所有限公司 33101 | 代理人: | 王之怀;王洪新 |
地址: | 314031 浙江省嘉兴*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 吸附 太阳能 硅片 吸盘 | ||
本实用新型涉及一种太阳能硅片生产用具。目的是对现有太阳能硅片的吸盘进行了改进,改进后的吸盘应能有效解决盖板面因漏气而吸附硅片的问题,从而保证硅片在放置时顺利入位。技术方案是:一种吸附太阳能硅片的吸盘,包括第一侧面开设有气流槽的吸盘本体以及设置成平板状且盖合在吸盘本体的第一侧面以封闭气流槽的盖板;其特征在于:所述盖板上开设有若干吸附小孔,以便吸附太阳能硅片;所述吸附小孔的位置与气流槽的位置相对应。
技术领域
本实用新型涉及一种太阳能硅片生产用具,具体是一种吸附太阳能硅片的吸盘。
背景技术
目前,市场上用于取放太阳能硅片的吸盘,通常由许多个吸盘叠在一起使用(如图3),以增加工作效率。工作时,吸盘组接通真空泵(图中未画出)后,在石英舟或花篮里吸取硅片并运送到各个生产工序中。
常见的吸盘的结构如图2所示,主要由吸盘本体1和盖板2构成,吸盘本体上开有气流槽102,气流槽的底面加工有若干吸附小孔201,当气流槽和吸附小孔加工完成后,通过胶水将盖板固定在吸盘本体上,从而对气流槽进行密封,仅留下与真空泵相连接的端口。但是在涂抹胶水的过程中,胶水打多打少都是难题;打多了容易把气流槽或吸附小孔堵住而影响吸力,太少又容易使盖板与吸盘本体之间的连接缝3发生漏气。漏气的吸盘在实际搬运硅片的过程中,有时会发生盖板面吸附硅片的情况(如图4),导致在后续放置硅片时无法正常入位而碎片。因此,需要对现有的吸盘结构进行改进。
实用新型内容
本实用新型的目的是克服上述背景技术的不足,对现有太阳能硅片的吸盘进行了改进,改进后的吸盘应能有效解决盖板面因漏气而吸附硅片的问题,从而保证硅片在放置时顺利入位。
本实用新型提供的技术方案是:
一种吸附太阳能硅片的吸盘,包括第一侧面开设有气流槽的吸盘本体以及设置成平板状且盖合在吸盘本体的第一侧面以封闭气流槽的盖板;其特征在于:所述盖板上开设有若干吸附小孔,以便吸附太阳能硅片;所述吸附小孔的位置与气流槽的位置相对应。
所述盖板的吸附面与吸盘本体的第一侧面相重合。
所述吸盘本体的第一侧面开设有位于气流槽开口周围的凹台,以容纳盖板;所述凹台的深度与盖板的厚度相同。
所述盖板与吸盘本体通过胶水固定连接。
本实用新型的有益效果是:
本实用新型提供的吸盘中,吸附小孔开设在盖板上,使盖板面作为吸附面,当气流槽内的空气被真空泵抽取后,吸附小孔处形成负压,硅片被吸附在盖板上,即使盖板与吸盘本体之间的连接缝发生漏气,连接缝与吸附小孔处的吸附力方向也相同,连接缝此时充当吸附小孔的作用,从而解决了盖板面因漏气而吸附硅片的问题,保证了硅片在后续放置时的顺利入位,降低硅片的破损率。
附图说明
图1为本实用新型中吸盘的主视结构示意图。
图2为现有吸盘的立体结构示意图。
图3为现有吸盘组在连接缝未漏气时的工作状态示意图。
图4为现有吸盘组在连接缝漏气时的工作状态示意图。
附图标号:
1、吸盘本体;101、第一侧面;102、气流槽;103、凹台;104、第二侧面;2、盖板;201、吸附小孔;3、连接缝;4、硅片。
具体实施方式
以下结合附图所示的实施例进一步说明。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造