[实用新型]双向导通EDS二极管芯片有效
申请号: | 202121299118.0 | 申请日: | 2021-06-08 |
公开(公告)号: | CN215183983U | 公开(公告)日: | 2021-12-14 |
发明(设计)人: | 袁强;贺晓金;陆超;周嵘;杜先兵;姚秋原;王博 | 申请(专利权)人: | 中国振华集团永光电子有限公司(国营第八七三厂) |
主分类号: | H01L29/861 | 分类号: | H01L29/861;H01L23/488 |
代理公司: | 贵州派腾知识产权代理有限公司 52114 | 代理人: | 张祥军 |
地址: | 550018 贵州省*** | 国省代码: | 贵州;52 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 双向 eds 二极管 芯片 | ||
本实用新型提供了一种双向导通EDS二极管芯片,包括N型衬底,N型衬底的正面设有两个并列的P区,N型衬底的正面覆盖有氧化层,氧化层上对应P区设有两个并列的金属接点,金属接点穿过氧化层并与P区接触,N型衬底的背面还设有背金属层,背金属层从N型衬底开始依次为钛层、镍层、银层。本实用新型构简单,制造时无需双面光刻,降低了工艺复杂性;封装时,可以通过背面粘接或焊接,结构稳定,且不会发生导通,可靠性高。通过在平面结构上横向集成了两个PN结,实现了浪涌电流抑制以及静电保护,双向稳压性能一致性好。
技术领域
本实用新型涉及双向二极管技术领域,具体涉及一种双向导通EDS二极管芯片。
背景技术
双向二极管被广泛应用到敏感器件的电压保护,双向二极管并联在被保护电路的前端,当外界突然输入一浪涌电流时,双向二极管内部产生雪崩击穿效应,由高阻抗态瞬间变为低阻抗态,可以在超短的时间吸收该电流,并把稳压值钳制到一固定电压值,以保护该双向二极管并联的电路不受浪涌电流的影响。
现有的双向二极管主要是纵向结构,制造时需要双向光刻,制造工艺较复杂。封装时,需要在芯片的底端或两端设置金属焊料,容易发生导通现象,存在封装可靠性的隐患。
实用新型内容
为解决上述技术问题,本实用新型提供了一种双向导通EDS二极管芯片。
本实用新型通过以下技术方案得以实现。
本实用新型提供了一种双向导通EDS二极管芯片,包括N型衬底,所述N型衬底的正面设有两个并列的P区,N型衬底的正面覆盖有氧化层,氧化层上对应P区设有两个并列的金属接点,金属接点穿过氧化层并与P区接触,N型衬底的背面还设有背金属层,背金属层从N型衬底4开始依次为钛层、镍层、银层。
所述N型衬底、氧化层、金属接点的总厚度为200~250μm。
所述氧化层厚度为600~1000nm。
所述氧化层为氧化硅。
所述金属接点的厚度为3~5μm。
所述金属接点为铝。
所述钛层、镍层、银层厚度依次为钛层80nm~100nm,镍层80nm~100nm,银层140nm~150nm。
本实用新型的有益效果在于:
本实用新型构简单,制造时无需双面光刻,降低了工艺复杂性;另外,封装时,可以通过背面粘接或焊接,结构稳定,且不会发生导通,可靠性高。通过在平面结构上横向集成了两个PN结,实现了浪涌电流抑制以及静电保护,双向稳压性能一致性好。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图。
图中:1-金属接点;2-氧化层;3-P区;4-N型衬底;5-背金属层。
具体实施方式
下面进一步描述本实用新型的技术方案,但要求保护的范围并不局限于所述。
本实用新型提供了一种双向导通EDS二极管芯片,包括N型衬底4,所述N型衬底4的正面设有两个并列的P区3,N型衬底4的正面覆盖有氧化层2,氧化层2上对应P区3设有两个并列的金属接点1,金属接点1穿过氧化层2并与P区3接触,N型衬底的背面还设有背金属层,背金属层从N型衬底开始依次为钛层、镍层、银层。
封装时,在金属接点1上焊接电极引线,通过电极引线分别接至电极;用背金属层5通过金属烧焊固定在管壳上,提高结构强度,管壳外表面绝缘,或者将背金属层5用绝缘胶粘接在管壳上;管壳与电机引线之间绝缘。在电流方向上,该结构形成近似水平方向的“金属接点1—P区3—N型衬底4—P区3—金属接点1”的对称通路,无论电流方向是正向还是反向,均会遇到一个反向的PN结,从而使电压固定在一个固定范围内,保护电路。
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