[实用新型]一种新型碳化硅退火炉高温腔体

权利要求书

1.一种新型碳化硅退火炉高温腔体，包括腔体本体(1)、安装机构(6)和连接机构(13)，其特征在于：所述腔体本体(1)商标卖女中部固定连接有安装机构(6)，且安装机构(6)包括安装块(61)和连接钢槽(62)，所述安装块(61)之间的两侧上部固定连接有连接钢槽(62)；

所述腔体本体(1)一端上中部紧固连接有连接机构(13)，且连接机构(13)包括连接筒(131)和法兰盘(132)，所述法兰盘(132)固定连接在连接筒(131)的内端。

2.根据权利要求1所述的一种新型碳化硅退火炉高温腔体，其特征在于，所述腔体本体(1)底面外部设置有底座(3)，且底座(3)前端上部固定连接有弧形梯(2)，所述弧形梯(2)另一端固定连接在连接钢槽(62)前端表面中部。

3.根据权利要求1所述的一种新型碳化硅退火炉高温腔体，其特征在于，所述腔体本体(1)底面两端中部固定连接有支座(5)，且腔体本体(1)一端表面固定连接有固定圈(10)，所述固定圈(10)表面固定连接有轴套(7)。

4.根据权利要求3所述的一种新型碳化硅退火炉高温腔体，其特征在于，所述轴套(7)内转动连接有转轴(4)，且转轴(4)外端固定连接有第一圆门(9)，所述第一圆门(9)外表面一侧中部固定连接有第一把手(8)。

5.根据权利要求1所述的一种新型碳化硅退火炉高温腔体，其特征在于，所述连接筒(131)外端表面中部固定连接有鼓风机(12)，且鼓风机(12)的输入端固定连接有吸风口(11)。

6.根据权利要求1所述的一种新型碳化硅退火炉高温腔体，其特征在于，所述腔体本体(1)另一端下中部转动连接有弧门(14)，且弧门(14)外表面内端中部固定连接有第二把手(15)，所述腔体本体(1)底面一侧转动连接有第二圆门(17)，且第二圆门(17)底面一侧中部固定连接有第三把手(16)。