[实用新型]一种新型碳化硅退火炉高温腔体

说明书

本实用新型公开了一种新型碳化硅退火炉高温腔体，涉及半导体制造相关用具技术领域。本实用新型包括腔体本体、安装机构和连接机构，腔体本体商标卖女中部固定连接有安装机构，安装机构包括安装块和连接钢槽，安装块之间的两侧上部固定连接有连接钢槽；腔体本体一端上中部紧固连接有连接机构，且连接机构包括连接筒和法兰盘，法兰盘固定连接在连接筒的内端。本实用新型通过设置安装机构和连接机构，具有节约工作场地空间和便于对鼓风机维修更换的优点。

技术领域

本实用新型属于半导体制造相关用具技术领域，特别是涉及一种新型碳化硅退火炉高温腔体。

背景技术

退火炉高温腔体是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能，热处理是针对不同的效果而设计的，但它在实际使用中仍存在以下弊端：

1、现有的退火炉高温腔体无法在其上部快速安装它自身燃烧所需的燃料的装载体，从而导致只能将其燃料装载体放置在退火炉高温腔体外部，十分占用空间；

2、现有的退火炉高温腔体与鼓风机通常为一体化设计，无法快速的对鼓风机进行结构上的拆装，不利于后期鼓风机损坏进行更换维修。

因此，现有的一种新型碳化硅退火炉高温腔体，无法满足实际使用中的需求，所以市面上迫切需要能改进的技术，以解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种新型碳化硅退火炉高温腔体，通过设置安装机构和连接机构，解决了现有的退火炉高温腔体无法在其上部快速安装它自身燃烧所需的燃料的装载体，从而导致只能将其燃料装载体放置在退火炉高温腔体外部，十分占用空间；现有的退火炉高温腔体与鼓风机通常为一体化设计，无法快速的对鼓风机进行结构上的拆装，不利于后期鼓风机损坏进行更换维修的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型是通过以下技术方案实现的：

本实用新型为一种新型碳化硅退火炉高温腔体，包括腔体本体、安装机构和连接机构，所述腔体本体商标卖女中部固定连接有安装机构，且安装机构包括安装块和连接钢槽，所述安装块之间的两侧上部固定连接有连接钢槽；

所述腔体本体一端上中部紧固连接有连接机构，且连接机构包括连接筒和法兰盘，所述法兰盘固定连接在连接筒的内端。

进一步地，所述腔体本体底面外部设置有底座，且底座前端上部固定连接有弧形梯，所述弧形梯另一端固定连接在连接钢槽前端表面中部，由设置的底座，用于连接弧形梯和对腔体本体进行支撑，由设置的连接钢槽，便于对燃料装载体进行固定。

进一步地，所述腔体本体底面两端中部固定连接有支座，且腔体本体一端表面固定连接有固定圈，所述固定圈表面固定连接有轴套，由设置的支座，用于对腔体本体进行支撑，由设置的固定圈，用于固定轴套，并由设置的轴套，用于使转轴进行转动。

进一步地，所述轴套内转动连接有转轴，且转轴外端固定连接有第一圆门，所述第一圆门外表面一侧中部固定连接有第一把手，由设置的转轴，用于使第一圆门可进行转动，由设置的第一把手，便于对第一圆门施加力的作用，从而使其进行转动。

进一步地，所述连接筒外端表面中部固定连接有鼓风机，且鼓风机的输入端固定连接有吸风口，由设置的鼓风机，用于对腔体本体中引入空气，从而使腔体本体内的燃烧更加的充分，由吸风口的设置，用于将空气吸入到鼓风机中鼓出。

进一步地，所述腔体本体另一端下中部转动连接有弧门，且弧门外表面内端中部固定连接有第二把手，所述腔体本体底面一侧转动连接有第二圆门，且第二圆门底面一侧中部固定连接有第三把手，由设置的弧门，便于在需要的时候对腔体本体内进行观察，由设置的第二把手，便于将弧门打开和关闭，由设置的第三把手，便于将第二圆门打开和关闭。

本实用新型具有以下有益效果：