[实用新型]一种晶圆覆膜装置

权利要求书

1.一种晶圆覆膜装置，包括固定底板(1)，其特征在于：所述固定底板(1)的上表面固定连接有支撑板(2)，所述支撑板(2)的顶端固定连接有连接块(3)，所述连接块(3)的顶端固定连接有电动液压推杆(4)，所述电动液压推杆(4)的活动端固定连接有固定块(5)，所述固定块(5)的一侧插接有支撑轴(6)，所述支撑轴(6)的一端通过连块固定连接有圆板(7)，所述圆板(7)的中部转动连接有转动轴(8)，所述转动轴(8)的一侧固定连接有U形架(9)，所述U形架(9)的内部滑动连接有连接杆(10)，所述连接杆(10)的一侧固定连接有拉伸弹簧(11)，所述拉伸弹簧(11)的另一端与转动轴(8)的一侧固定连接，所述圆板(7)的下表面设有滑槽，所述滑槽的内部滑动连接有滑动块(12)，所述滑槽和滑动块(12)的一端均设置为T形，所述滑槽设为多个，且尺寸均不相同，所述滑动块(12)的底面固定连接有切割刀(13)，所述滑动块(12)与连接杆(10)可拆卸连接，所述转动轴(8)底端转动连接有固定柱，所述圆板(7)的上表面固定连接有伺服电机(14)，所述伺服电机(14)的输出端与转动轴(8)固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆覆膜装置，其特征在于：所述支撑轴(6)的一端贯穿固定块(5)，并延伸至固定块(5)的外部，所述支撑轴(6)延伸至固定块(5)外部的一端固定连接有转动块，所述转动块的一侧螺纹连接有限位杆，所述限位杆的一端与固定块(5)的一侧抵接。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆覆膜装置，其特征在于：所述连接块(3)的内部设有运动槽，所述运动槽的一侧固定连接有压缩弹簧(15)，所述压缩弹簧(15)的另一端固定连接有压板(16)，所述压板(16)的一侧抵接有薄膜(17)。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆覆膜装置，其特征在于：所述固定底板(1)的上表面固定连接有升降装置，所述升降装置包括安装板(18)，所述安装板(18)的一侧通过连轴铰接有转动杆(19)，所述转动杆(19)另一端的一侧通过连轴铰接有连接座，所述连接座的一侧固定连接有传动块(20)，所述传动块(20)的中部螺纹连接有双向螺纹杆(21)，所述双向螺纹杆(21)的一端固定连接有限位块。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆覆膜装置，其特征在于：所述升降装置的顶部固定连接有放置板(22)，所述放置板(22)的上表面开设有滑槽，所述滑槽的一侧固定连接有伸缩弹簧(23)，所述伸缩弹簧(23)的另一端固定连接有支撑块(24)，所述支撑块(24)的顶部固定连接有L卡板(25)。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆覆膜装置，其特征在于：所述连接杆(10)的一侧插接有L推杆(26)，所述连接杆(10)的内部设有安装槽，所述安装槽的一侧固定连接有连接弹簧(27)，所述连接弹簧(27)的另一端与L推杆(26)固定连接有，所述L推杆(26)的一侧固定连接有卡接杆(28)，所述滑动块(12)的内部设有卡接槽，所述卡接杆(28)的一端插接在卡接槽内。