[实用新型]升华仪控制电路

权利要求书

1.一种升华仪控制电路，其特征在于，包括：

PLC控制器，在所述的PLC控制器输入端连接输入控制装置；在所述的PLC控制器输出端分别输出控制加热设备、机械泵、分子泵、真空计、流量计；

人机交互界面，所述的人机交互界面与所述的PLC控制器通讯连接；在所述的人机交互界面设置设置开关按钮、参数设置窗口和显示窗口，用于手动控制、输入参数和显示参数。

2.根据权利要求1所述的升华仪控制电路，其特征在于，所述的输入控制装置，还包括：

操作面板，所述的操作面板与所述的PLC控制器输入端电性连接，所述的操作面板上设置输入按钮通过机械点位连接至所述PLC控制器输入端；

真空传感器，所述的真空传感器输出模拟量与所述PLC控制器输入端上第一模拟量输入端电性连接；所述的真空传感器数字输出端与所述PLC控制器数字输入端电性连接；

气体流量传感器，所述的气体流量传感器输出模拟量与所述PLC控制器输入端上第二模拟量输入端电性连接；

温度传感器，若干个所述的温度传感器输出模拟量与所述PLC控制器输入端上的温度输入模块电性连接。

3.根据权利要求1所述的升华仪控制电路，其特征在于，在所述的PLC控制器输出端上的若干个点位上连接若干个加热接触器，所述加热接触器将电源与加热元件电性连接；用于多段加热温场的温度控制；

在所述的PLC控制器输出端上输出至少一个点位电性连接至控制所述机械泵的接触器；用于启停所述机械泵；

同样，在所述的PLC控制器输出端上输出至少一个点位电性连接至所述分子泵的接触器；用于控制启停所述分子泵；

在所述的PLC控制器输出端上输出模拟量输出与所述流量计以模拟量输出量电性连接，用于控制所述流量计的流量；

在所述的PLC控制器输出端上输出模拟量输出与所述真空计以模拟量输出量电性连接，用于控制所述真空计的真空度。

4.根据权利要求1所述的升华仪控制电路，其特征在于，所述的人机交互界面与所述的PLC控制器，通过以太网或者PROFIBUS总线电性连接。

5.根据权利要求4所述的升华仪控制电路，其特征在于，在所述的人机交互界面内设置若干个控制屏幕控制按钮、若干个屏幕切换按钮以及屏幕显示条。

6.根据权利要求3所述的升华仪控制电路，其特征在于，在所述的PLC控制器输出端控制所述机械泵的接触器；与所述的PLC控制器输出端上控制所述分子泵的接触器进行互锁。

7.根据权利要求2所述的升华仪控制电路，其特征在于，在所述的真空传感器上的真空值达到预设值后，所述的真空传感器的输出端输出数字量至所述PLC控制器输入端上的数字输入端，所述的PLC控制器输出端输出一个点位至分子泵的接触器，控制所述的分子泵开启。

8.根据权利要求3所述的升华仪控制电路，其特征在于，在所述的PLC控制器输出端上输出至少一个点位电性连接惰性气体充气电磁阀。

9.根据权利要求3所述的升华仪控制电路，其特征在于，在所述的PLC控制器输出端上以PID输出方式控制所述的加热接触器的吸合，控制加热线圈进行加热；用于多段加热温场的加热。

10.根据权利要求9所述的升华仪控制电路，其特征在于，在所述的PLC控制器依照升温曲线，对所述的多段加热温场的加热进行控制；所述的升温曲线设置在人机交互界面内。