[实用新型]升华仪控制电路

说明书

本实用新型涉及一种升华仪控制电路，包括：在PLC控制器输入端连接输入控制装置；在PLC控制器输出端分别输出控制加热设备、机械泵、分子泵、真空计、流量计；人机交互界面与PLC控制器通讯连接；在人机交互界面设置开关按钮、参数设置窗口和显示窗口，用于手动控制、输入参数和显示参数；本实用新型同现有技术相比，在本实施例的升华仪中采用了人机交互界面+PLC控制器的控制电路的控制方式，具有电路结构简单的特点，同时还能够方便的对用升华仪中的加热设备、机械泵、分子泵、真空计、流量计等设备参数进行修改，改变现有的升华仪的控制电路中存在控制参数设置修改较为困难的技术问题。

技术领域

本实用新型的实施例涉及一种控制电路，特别涉及一种升华仪控制电路。

背景技术

在现有的升华仪的控制电路主要都采用集成式电路板+控制面板的控制样式进行控制，主要存在着对于加热设备、机械泵、分子泵、流量计等控制参数设置修改较为困难，同时控制电路复杂。

实用新型内容

本实用新型的实施方式的目的在于提供一种用于参数修改较为方便的升华仪控制电路。

为了实现上述目的，本实用新型的实施方式设计了一种升华仪控制电路，其特征在于，包括：

PLC控制器，在所述的PLC控制器输入端连接输入控制装置；在所述的PLC 控制器输出端分别输出控制加热设备、机械泵、分子泵、真空计、流量计；

人机交互界面，所述的人机交互界面与所述的PLC控制器通讯连接；在所述的人机交互界面设置开关按钮、参数设置窗口和显示窗口，用于手动控制、输入参数和显示参数。

进一步，所述的输入控制装置，还包括：

操作面板，所述的操作面板与所述的PLC控制器输入端电性连接，所述的操作面板上设置输入按钮通过机械点位连接至所述PLC控制器输入端；

真空传感器，所述的真空传感器输出模拟量与所述PLC控制器输入端上第一模拟量输入端电性连接；所述的真空传感器数字输出端与所述PLC控制器数字输入端电性连接；

气体流量传感器，所述的气体流量传感器输出模拟量与所述PLC控制器输入端上第二模拟量输入端电性连接；

温度传感器，若干个所述的温度传感器输出模拟量与所述PLC控制器输入端上的温度输入模块电性连接。

进一步，在所述的PLC控制器输出端上的若干个点位上连接若干个加热接触器，所述加热接触器将电源与加热元件电性连接；用于多段加热温场的温度控制；

在所述的PLC控制器输出端上输出至少一个点位电性连接至控制所述机械泵的接触器；用于启停所述机械泵；

同样，在所述的PLC控制器输出端上输出至少一个点位电性连接至所述分子泵的接触器；用于控制启停所述分子泵；

在所述的PLC控制器输出端上输出模拟量输出与所述流量计以模拟量输出量电性连接，用于控制所述流量计的流量；

在所述的PLC控制器输出端上输出模拟量输出与所述真空计以模拟量输出量电性连接，用于控制所述真空计的真空度。

进一步，所述的人机交互界面与所述的PLC控制器，通过以太网或者 PROFI BUS总线电性连接。

进一步，在所述的人机交互界面内设置若干个控制屏幕控制按钮、若干个屏幕切换按钮以及屏幕显示条。

进一步，在所述的PLC控制器输出端控制所述机械泵的接触器；与所述的 PLC控制器输出端上控制所述分子泵的接触器进行互锁。