[实用新型]一种混合废光阻清洗剂的回收设备有效
申请号: | 202121336423.2 | 申请日: | 2021-06-16 |
公开(公告)号: | CN215576099U | 公开(公告)日: | 2022-01-18 |
发明(设计)人: | 刘小勇;房龙翔;叶鑫煌 | 申请(专利权)人: | 福建省佑达环保材料有限公司 |
主分类号: | G03F7/42 | 分类号: | G03F7/42 |
代理公司: | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人: | 张爱红 |
地址: | 362100 福建省*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 混合 废光阻清 洗剂 回收 设备 | ||
1.一种混合废光阻清洗剂的回收设备,包括支撑架(1)、箱体(2)和加热罐(9),其特征在于,所述支撑架(1)顶端固定安装有箱体(2),且所述支撑架(1)底端四角均固定安装有万向轮,所述箱体(2)顶端开设有安装槽,且所述安装槽内固定安装有加热罐(9),所述加热罐(9)顶端铰接有防护盖(5);
所述防护盖(5)圆周侧壁固定安装有第二支块(4),且所述加热罐(9)圆周侧壁固定安装有第一支块(3),所述第一支块(3)与第二支块(4)位于同一竖直水平面,且所述第二支块(4)顶端螺纹安装有固定螺栓,所述固定螺栓底端螺纹贯穿第一支块(3)和第二支块(4);
所述防护盖(5)圆周测壁固定安装有两个结构相同且呈对称分布的固定块(6),且所述加热罐(9)圆周侧壁固定安装有两侧结构相同且呈对称分布的支撑块(8),两个所述支撑块(8)顶端均开设有固定槽(7),且同组所述固定块(6)与固定槽(7)之间均设有卡位结构;
所述加热罐(9)内开设有两个结构相同且呈对称分布的收纳槽(16),且所述加热罐(9)内设有支撑装置,所述加热罐(9)内壁固定安装有液面检测仪,且所述液面检测仪型号为DM5110。
2.根据权利要求1所述的一种混合废光阻清洗剂的回收设备,其特征在于,所述卡位结构包括第一活动槽(11)、卡位杆(10)和第一弹簧(12),所述支撑块(8)靠近加热罐(9)一端均开设有第一活动槽(11),且所述第一活动槽(11)内均滑动安装有卡位杆(10),所述第一活动槽(11)靠近加热罐(9)一侧内壁均固定连接有第一弹簧(12),且所述第一弹簧(12)远离加热罐(9)一端均与同侧所述卡位杆(10)靠近加热罐(9)一端固定连接,所述卡位杆(10)远离加热罐(9)一端均滑动贯穿同侧所述固定槽(7)。
3.根据权利要求2所述的一种混合废光阻清洗剂的回收设备,其特征在于,所述卡位杆(10)远离加热罐(9)一端均呈半圆状,且两个所述固定块(6)均呈L形,两侧所述固定块(6)竖直段底端均呈工字状。
4.根据权利要求1所述的一种混合废光阻清洗剂的回收设备,其特征在于,所述支撑装置包括固定环(13)、辅位环(14)、支撑杆(17)和第二弹簧(18),所述加热罐(9)内滑动安装有两侧结构相同且呈对称分布的固定环(13),且两个所述固定环(13)均呈圆弧状,两个所述固定环(13)两端均开设有滑槽,且两个所述固定环(13)相对的一侧滑槽之间均滑动连接有辅位环(14),两个所述固定环(13)均滑动套设有支撑杆(17),且所述支撑杆(17)与如同侧所述收纳槽(16)底端内壁之间均固定连接有第二弹簧(18),两侧所述支撑杆(17)远离同侧所述固定环(13)一端与收纳槽(16)之间均设有限位装置。
5.根据权利要求4所述的一种混合废光阻清洗剂的回收设备,其特征在于,所述限位装置包括第二活动槽(15)、第三弹簧(20)、和限位杆(19),两个所述收纳槽(16)一侧内壁均开设有第二收纳槽(16),且两个所述收纳槽(16)内均滑动安装有限位杆(19),且两个所述限位杆(19)远离同侧所述支撑杆(17)一端与同组所述第二活动槽(15)相对的一侧内壁之间均固定连接有第三弹簧(20),且两个所述支撑杆(17)靠近同侧所述限位杆(19)一侧均开设有与同侧所述限位杆(19)相匹配的限位槽,两个所述支撑杆(17)靠近同侧所述收纳槽(16)一端与两个所述限位杆(19)远离同组所述第三弹簧(20)一端均呈半球状。
6.根据权利要求4所述的一种混合废光阻清洗剂的回收设备,其特征在于,所述箱体(2)顶端固定安装有抽液泵(),且所述抽液泵两端均固定安装有导液管,一段所述导液管靠近加热罐(9)一端贯穿加热罐(9),且所述箱体(2)一侧固定安装有显示面板和控制按钮。
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