[实用新型]一种晶圆理片器有效
申请号: | 202121356715.2 | 申请日: | 2021-06-17 |
公开(公告)号: | CN214848558U | 公开(公告)日: | 2021-11-23 |
发明(设计)人: | 徐金红 | 申请(专利权)人: | 无锡市瑞达电子科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/68 | 分类号: | H01L21/68 |
代理公司: | 无锡睿升知识产权代理事务所(普通合伙) 32376 | 代理人: | 张悦 |
地址: | 214000 江苏省无锡*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 晶圆理片器 | ||
1.一种晶圆理片器,其特征在于,包括主板、胶辊组件、挡架组件和驱动组件,所述胶辊组件转动安装在主板上,用于对晶圆的整理,所述挡架组件安装在主板的两侧,用于对晶圆盒的限位,所述驱动组件安装在胶辊组件的一端,用于驱动胶辊组件工作。
2.根据权利要求1所述的晶圆理片器,其特征在于:所述挡架组件包括横臂、支臂和支撑板,至少两个所述横臂铰接在主板的第一端,且关于主板对称设置,至少两个所述横臂对称设置在主板的第二端,所述横臂的下部铰接有支臂,所述支臂远离横臂的一端与主板的侧面抵触,主板两端的两个横臂之间连接有支撑板。
3.根据权利要求2所述的晶圆理片器,其特征在于:所述主板的侧面设置有限位板,所述限位板沿主板的高度方向设置有若干个。
4.根据权利要求2所述的晶圆理片器,其特征在于:所述横臂呈弧形。
5.根据权利要求1所述的晶圆理片器,其特征在于:所述胶辊组件包括轴固定块和胶辊,所述轴固定块对称安装在主板的两端,两个所述轴固定块之间转动安装有胶辊,所述胶辊的一端与驱动组件连接。
6.根据权利要求1所述的晶圆理片器,其特征在于:所述驱动组件包括电机,所述电机通过联轴器与胶辊连接。
7.根据权利要求2所述的晶圆理片器,其特征在于:所述横臂下部安装有连接板,所述支臂的一端与连接板铰接,并穿设有销轴。
8.根据权利要求1所述的晶圆理片器,其特征在于:所述主板上安装有定位板,所述定位板架设在胶辊上部,实现对胶辊的限位。
9.根据权利要求1所述的晶圆理片器,其特征在于:所述主板、胶辊组件均为尼龙材质。
10.根据权利要求1所述的晶圆理片器,其特征在于:所述主板的下部安装有支撑脚,所述支撑脚的底部嵌设有防滑圈。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造