[实用新型]一种晶圆理片器有效

专利信息
申请号: 202121356715.2 申请日: 2021-06-17
公开(公告)号: CN214848558U 公开(公告)日: 2021-11-23
发明(设计)人: 徐金红 申请(专利权)人: 无锡市瑞达电子科技有限公司
主分类号: H01L21/68 分类号: H01L21/68
代理公司: 无锡睿升知识产权代理事务所(普通合伙) 32376 代理人: 张悦
地址: 214000 江苏省无锡*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 晶圆理片器
【权利要求书】:

1.一种晶圆理片器,其特征在于,包括主板、胶辊组件、挡架组件和驱动组件,所述胶辊组件转动安装在主板上,用于对晶圆的整理,所述挡架组件安装在主板的两侧,用于对晶圆盒的限位,所述驱动组件安装在胶辊组件的一端,用于驱动胶辊组件工作。

2.根据权利要求1所述的晶圆理片器,其特征在于:所述挡架组件包括横臂、支臂和支撑板,至少两个所述横臂铰接在主板的第一端,且关于主板对称设置,至少两个所述横臂对称设置在主板的第二端,所述横臂的下部铰接有支臂,所述支臂远离横臂的一端与主板的侧面抵触,主板两端的两个横臂之间连接有支撑板。

3.根据权利要求2所述的晶圆理片器,其特征在于:所述主板的侧面设置有限位板,所述限位板沿主板的高度方向设置有若干个。

4.根据权利要求2所述的晶圆理片器,其特征在于:所述横臂呈弧形。

5.根据权利要求1所述的晶圆理片器,其特征在于:所述胶辊组件包括轴固定块和胶辊,所述轴固定块对称安装在主板的两端,两个所述轴固定块之间转动安装有胶辊,所述胶辊的一端与驱动组件连接。

6.根据权利要求1所述的晶圆理片器,其特征在于:所述驱动组件包括电机,所述电机通过联轴器与胶辊连接。

7.根据权利要求2所述的晶圆理片器,其特征在于:所述横臂下部安装有连接板,所述支臂的一端与连接板铰接,并穿设有销轴。

8.根据权利要求1所述的晶圆理片器,其特征在于:所述主板上安装有定位板,所述定位板架设在胶辊上部,实现对胶辊的限位。

9.根据权利要求1所述的晶圆理片器,其特征在于:所述主板、胶辊组件均为尼龙材质。

10.根据权利要求1所述的晶圆理片器,其特征在于:所述主板的下部安装有支撑脚,所述支撑脚的底部嵌设有防滑圈。

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