[实用新型]一种晶圆理片器

说明书

本实用新型公开了一种晶圆理片器，其技术方案要点是包括主板、胶辊组件、挡架组件和驱动组件，所述胶辊组件转动安装在主板上，用于对晶圆的整理，所述挡架组件安装在主板的两侧，用于对晶圆盒的限位，所述驱动组件安装在胶辊组件的一端，用于驱动胶辊转动。本实用新型其宽度尺寸能够根据晶圆的尺寸进行调节，实现对不同规格尺寸的晶圆的整理，采用电机驱动理片器的运动整理，大大提供理片器的工作效率。

技术领域

本实用新型涉及理片器的技术领域，特别涉及一种晶圆理片器。

背景技术

晶圆片，又称硅晶片，是由硅锭加工而成的，通过专门的工艺可以在硅晶片上可是刻蚀出数以万计的晶体管，被广泛应用于集成电路的制造。这些被刻蚀出来的晶体管比人的的头发要细小上百倍。半导体通过控制电流来管理数据，形成各种文字、数字、声音、图像和色彩。他们被广泛用于集成电路，并间接地被地球上的每个人使用。

晶圆片在进行刻蚀时，需要设置平边来标明方向，因此需要将晶圆片理平，使得各个晶圆片的平边对其，现有的技术方案中采用理片器对其进行对其整理，首先将晶圆片依次排列放置在晶圆盒中，然后将晶圆盒一同放置在理片器上，通过理片器对晶圆盒内的晶圆进行整理。

现有的技术方案中存在的问题：(1)理片器的尺寸固定，对应能够整理的晶圆的尺寸也是固定的，难以根据不同尺寸的晶圆进行调节；(2)手动调节理片器，费时费力，工作效率较低。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种晶圆理片器，其宽度尺寸能够根据晶圆的尺寸进行调节，实现对不同规格尺寸的晶圆的整理，采用电机驱动理片器的运动整理，大大提供理片器的工作效率。

本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：

一种晶圆理片器，包括主板、胶辊组件、挡架组件和驱动组件，所述胶辊组件转动安装在主板上，用于对晶圆的整理，所述挡架组件安装在主板的两侧，用于对晶圆盒的限位，所述驱动组件安装在胶辊组件的一端，用于驱动胶辊组件工作。

进一步的，所述挡架组件包括横臂、支臂和支撑板，至少两个所述横臂铰接在主板的第一端，且关于主板对称设置，至少两个所述横臂对称设置在主板的第二端，所述横臂的下部铰接有支臂，所述支臂远离横臂的一端与主板的侧面抵触，主板两端的两个横臂之间连接有支撑板。

进一步的，所述主板的侧面设置有限位板，所述限位板沿主板的高度方向设置有若干个。

进一步的，所述横臂呈弧形。

进一步的，所述胶辊组件包括轴固定块和胶辊，所述轴固定块对称安装在主板的两端，两个所述轴固定块之间转动安装有胶辊，所述胶辊的一端与驱动组件连接。

进一步的，所述驱动组件包括电机，所述电机通过联轴器与胶辊连接。

进一步的，所述横臂下部安装有连接板，所述支臂的一端与连接板铰接，并穿设有销轴。

进一步的，所述主板上安装有定位板，所述定位板架设在胶辊上部，实现对胶辊的限位。

进一步的，所述主板、胶辊组件均为尼龙材质。

进一步的，所述主板的下部安装有支撑脚，所述支撑脚的底部嵌设有防滑圈。

综上所述，本实用新型具有以下有益效果：

1.通过胶辊组件和挡架组件的设置，工作人员调节支臂插入不同高度的限位板中，实现支臂以不同的角度支撑横臂，以此实现横臂在竖直方向的高度的调节，从而实现挡架中放置的晶圆盒的高度的调节，使得本实用中的理片器能够适用于不同规格尺寸的晶圆的整理；

2.设置驱动组件为电机，电机驱动胶辊转动，通过电机进行驱动，大大提高了胶辊整理晶圆的工作效率；