[实用新型]一种钙钛矿太阳能电池组件薄膜沉积设备

权利要求书

1.一种钙钛矿太阳能电池组件薄膜沉积设备，其特征在于，包括传送带（1）、进仓过渡舱（2）、主真空舱（3）、电子束沉积舱（4）、化学气相沉积舱（5）、热蒸发沉积舱（6）和出仓过渡舱（7），主真空舱（3）的左侧与进仓过渡舱（2）连通连接，其右侧与出仓过渡舱（7）连通连接，进仓过渡舱（2）与主真空舱（3）之间设置有独立控制开闭的左舱门（8），进仓过渡舱（2）的左侧设置有独立控制开闭的左外舱门（10），出仓过渡舱（7）与主真空舱（3）之间设置有独立控制开闭的右舱门（9），出仓过渡舱（7）的左侧设置有独立控制开闭的右外舱门（11）；电子束沉积舱（4）、化学气相沉积舱（5）和热蒸发沉积舱（6）从左至右依次设置于主真空舱（3）的上部，电子束沉积舱（4）、化学气相沉积舱（5）、热蒸发沉积舱（6）与主真空舱（3）之间分别设置有单独控制开闭的第一舱门（12）、第二舱门（13）和第三舱门（14），所述传送带（1）横穿进仓过渡舱（2）、主真空舱（3）及出仓过渡舱（7），且传送带（1）上分别设置有若干随传送带（1）移动的支撑台（15），支撑台（15）上放置有待沉积基板（16），主真空舱（3）内对应于电子束沉积舱（4）、化学气相沉积舱（5）和热蒸发沉积舱（6）下方分别设有升降机构（17），且通过各升降机构（17）分别将由传送带（1）输送过来的支撑台（15）举升至对应位置的电子束沉积舱（4）、化学气相沉积舱（5）及热蒸发沉积舱（6）内以及待工作完成后再分别下降复位；在所述电子束沉积舱（4）、化学气相沉积舱（5）和热蒸发沉积舱（6）内分别对应设置有电子束蒸发沉积装置（41）、化学气相沉积装置（51）和热蒸发沉积装置（61）。

2.如权利要求1所述的钙钛矿太阳能电池组件薄膜沉积设备，其特征在于，在进仓过渡舱（2）外分别通过管路连接有第一抽真空装置（18）和第一破真空装置（19）。

3.如权利要求1所述的钙钛矿太阳能电池组件薄膜沉积设备，其特征在于，在主真空舱（3）外通过管路连接有主抽真空装置（22）。

4.如权利要求1所述的钙钛矿太阳能电池组件薄膜沉积设备，其特征在于，在出仓过渡舱外分别通过管路连接有第二抽真空装置（20）和第二破真空装置（21）。