[实用新型]一种钙钛矿太阳能电池组件薄膜沉积设备

说明书

本实用新型涉及一种钙钛矿太阳能电池组件薄膜沉积设备，包括传送带、进仓过渡舱、主真空舱、电子束沉积舱、化学气相沉积舱、热蒸发沉积舱和出仓过渡舱，主真空舱的左侧与进仓过渡舱连接，其右侧与出仓过渡舱连接，电子束沉积舱、化学气相沉积舱、热蒸发沉积舱依次设置于主真空舱的上部，传送带横穿进仓过渡舱、主真空舱及出仓过渡舱，其上分别设置有若干支撑台，主真空舱内对应地各沉积舱下方分别设有升降机构，进仓过渡舱的入口、出仓过渡舱的出口以及各舱与真空舱的之间均设有单独控制开闭的舱门，从而待处理产品在各个舱位进行对应处理时，不会相互影响，利于加强沉积组件的界面接触，提升组件的光电转换性能与稳定性。

技术领域

本实用新型属于钙钛矿太阳能电池组件制备设备技术领域，特别涉及一种钙钛矿太阳能电池组件薄膜沉积设备。

背景技术

大面积钙钛矿太阳能电池组件在制备过程中，各功能层的界面处存在较多缺陷，对组件性能与稳定性有不利影响，同时在装配过程中，由于电子传输层、空穴传输层与钙钛矿吸光层采用了不同沉积方法，不同沉积工序一般在不同设备间完成，在传递过程中需要将薄膜进行多次抽真空处理，增加了薄膜污染几率与生产成本，降低了产品的良率。

目前解决钙钛矿电池各膜层界面缺陷的方法主要有对基底进行臭氧处理与膜层前驱液组分调控这两种方法，前者处理工艺较为简便，然而处理过后强氧化性臭氧的排放是一个大问题；后者通常需要在前驱液中引入添加剂等较为昂贵的材料，提高了生产成本，不利于长期、大面积生产。使用电子束蒸发沉积制备具有阵列结构的传输层是一种可以提高界面接触的有效方法，可以有效提升钙钛矿薄膜质量，减少界面缺陷。但通常电子束蒸发源都设置于一个单独的腔体中，沉积薄膜后，需先将其暴露在空气中，再分别放置于单独的化学气相沉积和真空蒸镀等腔体中，经过多个抽真空的步骤，不仅耗时，也会对膜层稳定性产生影响。

因此我们需要对该类设备结构进行改进，解决引起钙钛矿组件效率和稳定性下降的根本问题。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题在于，提供一种钙钛矿太阳能电池组件薄膜沉积设备，其为一种钙钛矿太阳能电池组件在同一真空腔体内完成电子传输层、钙钛矿活性层与空穴传输层的制备，有利于加强钙钛矿太阳能电池组件的界面接触，提升组件的光电转换性能与稳定性。

本实用新型是这样实现的，提供一种钙钛矿太阳能电池组件薄膜沉积设备，包括传送带、进仓过渡舱、主真空舱、电子束沉积舱、化学气相沉积舱、热蒸发沉积舱和出仓过渡舱，主真空舱的左侧与进仓过渡舱连通连接，其右侧与出仓过渡舱连通连接，进仓过渡舱与主真空舱之间设置有独立控制开闭的左舱门，进仓过渡舱的左侧设置有独立控制开闭的左外舱门，出仓过渡舱与主真空舱之间设置有独立控制开闭的右舱门，出仓过渡舱的左侧设置有独立控制开闭的右外舱门；电子束沉积舱、化学气相沉积舱、热蒸发沉积舱从左至右依次设置于主真空舱的上部，电子束沉积舱、化学气相沉积舱、热蒸发沉积舱与主真空舱之间分别设置有单独控制开闭的第一舱门、第二舱门、第三舱门，所述传送带横穿进仓过渡舱、主真空舱及出仓过渡舱，且传送带上设置有若干随传动带移动的支撑台，支撑台上分别放置有待沉积基板，主真空舱内电子束沉积舱、化学气相沉积舱和热蒸发沉积舱下方分别设有升降机构，且通过各升降机构分别将由传动带输送过来的支撑台举升至对应位置的电子束沉积舱、化学气相沉积舱及热蒸发沉积舱内以及待工作完成后再分别下降复位；在所述电子束沉积舱、化学气相沉积舱和热蒸发沉积舱内分别对应设置有电子束蒸发沉积装置、化学气相沉积装置和热蒸发沉积装置。

进一步地，在进仓过渡舱外分别通过管路连接有第一抽真空装置和第一破真空装置。

进一步地，在主真空舱外通过管路连接有主抽真空装置。

进一步地，在出仓过渡舱外分别通过管路连接有第二抽真空装置和第二破真空装置。