[实用新型]一种制备液态聚碳硅烷先驱体材料的装置

权利要求书

1.一种制备液态聚碳硅烷先驱体材料的装置，其特征在于：其结构包括填料塔(1)、氯甲基三氯硅烷储罐(9)、甲醇储罐(10)、氮气罐、气化器(2)和再沸器(3)，所述填料塔(1)的内腔上设置有纵向设置的至少3层填料部(18)，所述氯甲基三氯硅烷储罐(9)的出口连接在填料塔(1)位于最顶端的填料部(18)的上方，所述甲醇储罐(10)的出口与气化器(2)相连接，所述氮气罐的一端与气化器(2)连接，氮气罐的另一端连接在填料塔(1)位于最底端的填料部(18)与再沸器(3)之间，所述气化器(2)的出口设置有至少3个支路，每一所述支路的出口均连接在每一所述填料部(18)的底部上，所述再沸器(3)设置在填料塔(1)的底部上，所述再沸器(3)的底部连接有成品罐(4)，所述填料塔(1)的顶部设置有尾气吸收循环系统。

2.根据权利要求1所述的一种制备液态聚碳硅烷先驱体材料的装置，其特征在于：所述气化器(2)的出口设置有3个支路，该3个支路分别为第一支路(19a)、第二支路(19b)和第三支路(19c)，第一支路(19a)的出口设置在填料塔(1)的三分之二高度并且位于最顶端的填料部(18)的下方，所述第二支路(19b)的出口设置在填料塔(1)的三分之一高度并且位于中间端的填料部(18)的下方，所述第三支路(19c)的出口设置在填料塔(1)的下部并且位于最底端的填料部(18)的下方。

3.根据权利要求1所述的一种制备液态聚碳硅烷先驱体材料的装置，其特征在于：所述尾气吸收循环系统包括第一冷凝器(7)、尾气吸收装置，所述第一冷凝器(7)上设置有进入端、第一出口端和第二出口端，所述第一冷凝器(7)的进入端和第一出口端分别连接在填料塔(1)的顶部上，该第一冷凝器(7)的第二出口端与尾气吸收装置(5)相连接。

4.根据权利要求1所述的一种制备液态聚碳硅烷先驱体材料的装置，其特征在于：所述氮气罐的数量为2个，其中一个第一氮气罐(12)的出口通过第一管路连接在气化器(2)的顶部上，第一管路上设置有第一氮气阀(21)，另外一个第二氮气罐(14)的出口通过第二管路连接在填料塔(1)的底部上，第二管路上设置有第二氮气阀(23)。

5.根据权利要求4所述的一种制备液态聚碳硅烷先驱体材料的装置，其特征在于：还包括第一真空泵(11)、第二真空泵(13)，所述第一真空泵(11)通过第一真空阀(20)连接在气化器(2)的顶部上，所述第二真空泵(13)通过第二真空阀(22)连接在填料塔(1)位于最底端的填料部(18)与第二管路的出口之间。

6.根据权利要求1所述的一种制备液态聚碳硅烷先驱体材料的装置，其特征在于：所述甲醇储罐(10)与气化器(2)之间连接有第二质量流量计(16)、分子筛(8)，所述分子筛(8)设置在靠近气化器(2)的一侧上。

7.根据权利要求1所述的一种制备液态聚碳硅烷先驱体材料的装置，其特征在于：所述氯甲基三氯硅烷储罐(9)与填料塔(1)之间通过第三管路相连接，所述第三管路上设置有第一质量流量计(15)、喷淋器(24)，所述喷淋器(24)设置在第三管路伸入填料塔(1)的一端部上。

8.根据权利要求1所述的一种制备液态聚碳硅烷先驱体材料的装置，其特征在于：每一所述支路上均设置有一第三质量流量计(17)；所述再沸器(3)与成品罐(4)之间设置有第二冷凝器(6)。

9.根据权利要求1所述的一种制备液态聚碳硅烷先驱体材料的装置，其特征在于：所述填料塔(1)、气化器(2)、再沸器(3)、成品罐(4)、第一冷凝器(7)、第二冷凝器(6)和氯甲基三氯硅烷储罐(9)以及喷淋器(24)均内置有内衬搪瓷。

10.根据权利要求1所述的一种制备液态聚碳硅烷先驱体材料的装置，其特征在于：所述填料部(18)包括液体再分布器、填料，所述液体再分布器设置在填料的下部。