[实用新型]制程尾气处理装置

权利要求书

1.一种制程尾气处理装置，其特征在于，该制程尾气处理装置包括：

一气体入口；

一气体出口；

一洗涤室；

一风机；

一主要通道，包括：

一第一通道，连通该气体入口和该洗涤室；

一第二通道，连通该洗涤室和该风机；以及

一第三通道，连通该风机和该气体出口；

一分流通道，连通该气体入口和该气体出口；

一压力传感器组，设置于该气体入口、该气体出口、该主要通道和该分流通道，以感测一气压；以及

一控制阀门组，设置于该主要通道和该分流通道，以调节该气压。

2.如权利要求1所述的制程尾气处理装置，其特征在于，其中该压力传感器组更包括一入口压力传感器，该入口压力传感器设置于该气体入口。

3.如权利要求2所述的制程尾气处理装置，其特征在于，其中该压力传感器组更包括一分流压力传感器，该分流压力传感器设置于该分流通道。

4.如权利要求3所述的制程尾气处理装置，其特征在于，其中该压力传感器组更包括一风机压力传感器，该风机压力传感器设置于该第二通道。

5.如权利要求4所述的制程尾气处理装置，其特征在于，其中该压力传感器组更包括一出口压力传感器，该出口压力传感器设置于该气体出口。

6.如权利要求5所述的制程尾气处理装置，其特征在于，其中该压力传感器组更包括一洗涤室压力传感器，该洗涤室压力传感器设置于该洗涤室。

7.如权利要求6所述的制程尾气处理装置，其特征在于，其中该控制阀门组更包括一洗涤室阀门，该洗涤室阀门设置于该第一通道。

8.如权利要求7所述的制程尾气处理装置，其特征在于，其中该控制阀门组更包括一分流入口阀门，该分流入口阀门设置于该分流通道靠近该气体入口的一端。

9.如权利要求8所述的制程尾气处理装置，其特征在于，其中该控制阀门组更包括一风机阀门，该风机阀门设置于该第三通道。

10.如权利要求9所述的制程尾气处理装置，其特征在于，其中该控制阀门组更包括一分流出口阀门，该分流出口阀门设置于该分流通道靠近该气体出口的一端。