[实用新型]制程尾气处理装置

说明书

本实用新型公开一种制程尾气处理装置包括一气体入口、一气体出口、一洗涤室、一风机、一主要通道、一分流通道、一压力传感器组和一控制阀门组。主要信道包括一第一信道、一第二信道和一第三信道。第一通道连通气体入口和洗涤室。第二通道连通洗涤室和风机。第三通道连通风机和气体出口。分流通道连通气体入口和气体出口。压力传感器组设置于气体入口、气体出口、主要通道和分流通道，以感测一气压。控制阀门组设置于主要通道和分流通道，以调节气压。

技术领域

本实用新型是关于一种制程尾气处理装置，特别是一种可以确保通道内的气压稳定以避免跳机的制程尾气处理装置。

背景技术

在半导体制程中，会用气体处理设备来吸取制程的尾气并对尾气过滤，以避免尾气污染外部。在气体处理设备吸取尾气的过程中，尾气流通的管道应维持稳定的负压；若是负压变化太大，则制程前端的真空泵会启动保护机制而跳机。

然而，制程后端的气体处理设备的洗涤室需要定期清洁维护，而在清洁维护期间会启用分流通道，以使尾气继续流通。但是启用分流通道时，会造成管道的负压大幅度变化，而使得真空泵跳机。

因此，有必要提供一种可以确保通道内的气压稳定，以避免跳机的尾气处理装置。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种可以确保通道内的气压稳定以避免跳机的制程尾气处理装置。

为达成上述的目的，本实用新型的一种制程尾气处理装置包括一气体入口、一气体出口、一洗涤室、一风机、一主要通道、一分流通道、一压力传感器组和一控制阀门组。主要信道包括一第一信道、一第二信道和一第三信道。第一通道连通气体入口和洗涤室。第二通道连通洗涤室和风机。第三通道连通风机和气体出口。分流通道连通气体入口和气体出口。压力传感器组设置于气体入口、气体出口、主要通道和分流通道，以感测一气压。控制阀门组设置于主要通道和分流通道，以调节气压。

根据本实用新型的一实施例，其中压力传感器组更包括一入口压力传感器，入口压力传感器设置于气体入口。

根据本实用新型的一实施例，其中压力传感器组更包括一分流压力传感器，分流压力传感器设置于分流通道。

根据本实用新型的一实施例，其中压力传感器组更包括一风机压力传感器，风机压力传感器设置于第二通道。

根据本实用新型的一实施例，其中压力传感器组更包括一出口压力传感器，出口压力传感器设置于气体出口。

根据本实用新型的一实施例，其中压力传感器组更包括一洗涤室压力传感器，洗涤室压力传感器设置于洗涤室。

根据本实用新型的一实施例，其中控制阀门组更包括一洗涤室阀门，洗涤室阀门设置于第一通道。

根据本实用新型的一实施例，其中控制阀门组更包括一分流入口阀门，分流入口阀门设置于分流通道靠近气体入口的一端。

根据本实用新型的一实施例，其中控制阀门组更包括一风机阀门，风机阀门设置于第三通道。

根据本实用新型的一实施例，其中控制阀门组更包括一分流出口阀门，分流出口阀门设置于分流通道靠近气体出口的一端。

附图说明

附图是为提供对本申请进一步的理解，它们被收录并构成本申请的一部分，附图示出了本申请的实施例，并与本说明书一起起到解释本实用新型原理的作用。附图中：

图1是本实用新型的一实施例的制程尾气处理装置的示意图。

图2是本实用新型的一实施例的制程尾气处理装置的系统架构图。

附图标记

制程尾气处理装置1

气体入口10