[实用新型]一种催化燃料气体传感器

权利要求书

1.一种催化燃料气体传感器，其特征在于，包括：

微热板，所述微热板包括基底及加热层；所述基底包括中心加热区以及位于中心加热区外围的外围支撑区，所述中心加热区具有自基底的一表面向相对的另一表面凹陷的空气绝热腔；加热层，所述加热层包括电连接的加热电极以及加热电阻，所述加热电极设置在所述基底上；所述基底的中心加热区设置有连续凹陷部，所述凹陷部内设有导电材料，形成所述加热电阻；催化材料层，所述催化材料层设置在所述加热电阻的表面。

2.根据权利要求1所述的催化燃料气体传感器，其特征在于，所述基底包括第一支撑层和设置于第一支撑层上的第二支撑层，所述第一支撑层和第二支撑层一体成型或分体设置，且所述空气绝热腔贯穿所述第一支撑层，所述凹陷部设于第二支撑层内。

3.根据权利要求2所述的催化燃料气体传感器，其特征在于，所述第一支撑层为硅基底，所述第二支撑层为陶瓷膜，所述陶瓷膜分体设置于所述硅基底上，且所述凹陷部设于所述陶瓷膜内。

4.根据权利要求2所述的催化燃料气体传感器，其特征在于，所述基底为全陶瓷基底，所述第一支撑层为基底部，所述第二支撑层为支撑部，所述支撑部与基底部一体成型，且所述凹陷部设于所述支撑部内。

5.根据权利要求4所述的催化燃料气体传感器，其特征在于，所述凹陷部的宽度变化设置，且所述凹陷部构成的加热电阻形成预设形状。

6.根据权利要求2所述的催化燃料气体传感器，其特征在于，所述凹陷部的深度小于等于所述第二支撑层的厚度。

7.根据权利要求1所述的催化燃料气体传感器，其特征在于，所述导电材料的厚度小于、等于或大于所述凹陷部的深度。

8.根据权利要求1所述的催化燃料气体传感器，其特征在于，所述凹陷部的宽度为0.2μm~20μm，深度为1μm~20μm，且所述深度与宽度比不小于0.8。

9.根据权利要求1所述的催化燃料气体传感器，其特征在于，所述催化燃料气体传感器具有黑元件以及白元件；所述催化材料层包括设置在不同微热板的加热电阻上的黑元件催化材料以及白元件催化材料；所述黑元件催化材料与所在微热板组成所述黑元件，所述黑元件为检测元件；所述白元件催化材料与所在微热板组成所述白元件，所述白元件为补偿元件；所述黑元件与所述白元件组成检测电路，用于检测设定可燃气体的浓度。