[实用新型]一种催化燃料气体传感器

说明书

本实用新型公开了一种催化燃料气体传感器，包括微热板和催化材料层，微热板包括基底及加热层，加热层包括电连接的加热电极以及加热电阻，加热电极设置在基底上；基底的中心加热区设置有连续凹陷部，凹陷部内设有导电材料，形成加热电阻；催化材料层设置在加热电阻的表面。本实用新型通过控制凹陷部的宽度以及深度可以有效的控制加热电阻的电阻大小，具有较好的稳定性和可靠性，及制作工艺简单，制作成本低，更加小型化等特点。

技术领域

本实用新型涉及电子器件制造技术领域，更具体的说，涉及一种催化燃料气体传感器。

背景技术

随着工业的快速发展，环境的污染问题也越来越严重，例如，汽车尾气中的CO、NO_x、SO_x等有害气体，室内装修中存在的甲醛、甲苯等，煤矿中泄漏的甲烷气体，化工生产中产生的易燃、易爆、毒害性气体等，这些有毒气体对人们的身体健康造成了严重的威胁。为了确保人身安全和防患于未然，人们研制了各种检测方法和检测仪器，其中，气体传感器在家居生活、排放监测、航空、医疗、卫生等领域发挥着重大的作用。

目前气体传感器种类繁多，应用范围广泛，大致可分为半导体式、电化学式、接触燃烧式、固体电解质式和红外线式等。其中，半导体传感器因为检测灵敏度高、响应恢复时间短、元件尺寸微小、寿命长、价格低廉而越来越受到人们的重视。尤其是近年来随着微机械加工技术的发展，半导体气体传感器更是向着集成化、智能化方向发展。

目前常见的气体传感器的加热电阻很难控制，导致生产工艺冗长，良率不高，成本增加，且加热电阻设置于微热板的基底上，很难做到在同等电阻条件下，实现微热板的更加小型化。

实用新型内容

为了解决上述问题，本实用新型技术方案提供了一种催化燃料气体传感器，具有较好的稳定性和可靠性，制作工艺简单，制作成本低，且更加小型化。

为了实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种催化燃烧气体传感器，包括：

微热板，所述微热板包括基底及加热层；所述基底包括中心加热区以及位于中心加热区外围的外围支撑区，所述中心加热区具有自基底的一表面向相对的另一表面凹陷的空气绝热腔；加热层，所述加热层包括电连接的加热电极以及加热电阻，所述加热电极设置在所述基底上；所述基底的中心加热区设置有连续凹陷部，所述凹陷部内设有导电材料，形成所述加热电阻；催化材料层，所述催化材料层设置在所述加热电阻的表面。

优选的，所述基底包括第一支撑层和设置于第一支撑层上的第二支撑层，所述第一支撑层和第二支撑层一体成型或分体设置，且所述空气绝热腔贯穿所述第一支撑层，所述凹陷部设于第二支撑层内。

优选的，所述第一支撑层为硅基底，所述第二支撑层为陶瓷膜，所述陶瓷膜分体设置于所述硅基底上，且所述凹陷部设于所述陶瓷膜内。

优选的，所述基底为全陶瓷基底，所述第一支撑层为基底部，所述第二支撑层为支撑部，所述支撑部与基底部一体成型，且所述凹陷部设于所述支撑部内。

优选的，所述凹陷部的宽度变化设置，且所述凹陷部构成的加热电阻形成预设形状。

优选的，所述凹陷部的深度小于等于所述第二支撑层的厚度。

优选的，所述导电材料的厚度小于、等于或大于所述凹陷部的深度。

优选的，所述凹陷部的宽度为0.2μm~20μm，深度为1μm~20μm，且所述深度与宽度比不小于0.8。

优选的，所述导电材料为Pt、Au、Ag、Cu、Al、Ni、W、Ag/Pd合金以及Pt/A u合金中的任一种。