[实用新型]一种高精度且稳定性好的转塔式固晶机有效
申请号: | 202121403413.6 | 申请日: | 2021-06-23 |
公开(公告)号: | CN215451344U | 公开(公告)日: | 2022-01-07 |
发明(设计)人: | 陈斌文;周駃 | 申请(专利权)人: | 苏州佳业达精密科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 广州市时代知识产权代理事务所(普通合伙) 44438 | 代理人: | 卢浩 |
地址: | 215300 江苏省苏州市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 高精度 稳定性 塔式 固晶机 | ||
1.一种高精度且稳定性好的转塔式固晶机,包括支撑腿(1),其特征在于:所述支撑腿(1)的上端固定连接有加工台(2),所述加工台(2)的上表面固定连接有外壳(3),所述加工台(2)的上表面固定连接有电机一(4)和点胶机(7),所述电机一(4)驱动轴的表面固定连接有固晶转盘(5),所述固晶转盘(5)的上表面安装有固晶底座(6),所述固晶底座(6)的内部开设有空腔(61),所述空腔(61)的内壁固定连接有固定座(62)、收灰盒(64)、滑杆(65)和电机二(66),所述固定座(62)的上表面卡接有支架(63),所述滑杆(65)的表面滑动套接有齿条排(68)和齿牙块(70),所述齿条排(68)的表面与所述齿牙块(70)的表面共同固定连接有弹簧一(71),所述空腔(61)的内壁固定连接有弹簧二(72),所述电机二(66)驱动轴的表面固定连接有齿轮(67),所述齿轮(67)与所述齿牙块(70)相啮合,所述齿条排(68)的表面固定连接有清洁垫(69),所述加工台(2)的上表面还设置有送料机构和取料机构。
2.根据权利要求1所述的高精度且稳定性好的转塔式固晶机,其特征在于:所述加工台(2)表面固定连接有电动推杆三(22),所述固晶转盘(5)的下表面开设有卡接槽(23)。
3.根据权利要求2所述的高精度且稳定性好的转塔式固晶机,其特征在于:所述送料机构包括固定连接在所述加工台(2)上表面的传送带(21)和固定板(14),所述固定板(14)的表面固定连接有电机四(15),所述电机四(15)驱动轴的表面固定连接有螺纹杆(16),所述螺纹杆(16)的表面螺纹连接有移动块(17),所述移动块(17)的表面固定连接有电动推杆二(18),所述电动推杆二(18)推杆部的表面安装有吸盘二(19),还包括有用于限制所述移动块(17)只能横向移动的限制机构。
4.根据权利要求3所述的高精度且稳定性好的转塔式固晶机,其特征在于:所述取料机构包括固定连接在所述加工台(2)上表面的电机三(8),所述电机三(8)驱动轴的表面固定连接有转轴(9),所述转轴(9)的表面固定连接有连接板(10),所述连接板(10)的下表面固定连接有电动推杆一(12),所述电动推杆一(12)推杆部的表面安装有吸盘一(13),所述外壳(3)的表面开设有出料口(11)。
5.根据权利要求4所述的高精度且稳定性好的转塔式固晶机,其特征在于:所述限制机构包括限位杆(20),所述移动块(17)的表面开设有用于所述限位杆(20)穿过且与之滑动连接的通孔一,所述限位杆(20)的端部与所述固定板(14)的表面固定连接。
6.根据权利要求4或5中任意一项所述的高精度且稳定性好的转塔式固晶机,其特征在于:所述电机一(4)和电机三(8)为伺服电机式。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造