[实用新型]一种高纯度纳米氮化硅粉体制备设备

权利要求书

1.一种高纯度纳米氮化硅粉体制备设备，包括支撑底板(1)，其特征在于，所述支撑底板(1)的两侧边对称焊接有连接板(2)，所述连接板(2)的顶面均匀开设有通接孔(3)，一块所述支撑底板(1)的一侧边螺栓连接有控制面板(4)，所述支撑底板(1)的顶面水平焊接有主处理罐(5)，所述主处理罐(5)的外侧边螺栓连接有添加剂盒(6)，所述主处理罐(5)的外侧底面垂直向下焊接有出料管(7)，所述出料管(7)的外侧边螺栓连接有出料阀(8)，所述主处理罐(5)的外侧顶面垂直焊接有进气管(9)，所述主处理罐(5)的一端水平焊接有进料管(10)，所述主处理罐(5)的一端水平焊接有出气管(11)，所述主处理罐(5)的内侧边固定设置有内保温层(12)，所述内保温层(12)的内侧边设置有加热管(13)，所述内保温层(12)的内侧边水平焊接有中横杆(14)，所述中横杆(14)的内侧边设置有加热丝(15)，所述内保温层(12)的内侧边均匀焊接有隔离块(16)，所述添加剂盒(6)的顶面设置有密封盖板(17)，所述添加剂盒(6)的内侧边焊接有漏斗块(18)，所述添加剂盒(6)的内侧边螺栓连接有抽取泵(19)，所述支撑底板(1)的顶面开设有顶卡槽(20)。

2.根据权利要求1所述的一种高纯度纳米氮化硅粉体制备设备，其特征在于，所述支撑底板(1)的个数为两块，且两块支撑底板(1)相互之间平行设置，连接板(2)的个数为支撑底板(1)的个数两倍，且分别两两一组对称固定设置在支撑底板(1)的两侧边靠近底面位置。

3.根据权利要求1所述的一种高纯度纳米氮化硅粉体制备设备，其特征在于，所述主处理罐(5)水平固定设置在顶卡槽(20)的内侧边位置，且支撑底板(1)分别固定设置在主处理罐(5)的外侧边靠近两端位置，出料阀(8)与控制面板(4)之间通过电性连接设置，且出料管(7)与主处理罐(5)的内部保持通接设置。

4.根据权利要求1所述的一种高纯度纳米氮化硅粉体制备设备，其特征在于，所述进气管(9)固定设置在主处理罐(5)的外侧边远离出气管(11)的一端位置，进料管(10)的一端垂直固定设置在主处理罐(5)的一端靠近顶面边缘位置，出气管(11)水平固定设置在主处理罐(5)远离进料管(10)的一端位置，且出气管(11)的一端垂直固定设置在主处理罐(5)的一端靠近底面边缘位置。

5.根据权利要求1所述的一种高纯度纳米氮化硅粉体制备设备，其特征在于，所述中横杆(14)水平固定设置在内保温层(12)的内侧边中轴线位置，加热丝(15)呈螺旋状缠绕在中横杆(14)的内侧靠近边缘位置，隔离块(16)均采用高密度耐热材料制作，且隔离块(16)均对接设置在进气管(9)和出气管(11)的插接端位置。

6.根据权利要求1所述的一种高纯度纳米氮化硅粉体制备设备，其特征在于，所述抽取泵(19)的输入端与漏斗块(18)的底端保持通接设置，且抽取泵(19)的输出端通过管道贯穿主处理罐(5)延伸至内保温层(12)的内侧边位置，顶卡槽(20)水平开设在支撑底板(1)的顶面中心位置。