[实用新型]膜厚控制工装有效
| 申请号： | 202121418572.3 | 申请日： | 2021-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN215251153U | 公开（公告）日： | 2021-12-21 |
| 发明（设计）人： | 徐生辉;王爱民 | 申请（专利权）人： | 曼德电子电器有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C16/52 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 孙立波 |
| 地址： | 072550 河北省保*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 控制 工装 | ||
1.一种膜厚控制工装(100)，其特征在于，所述膜厚控制工装(100)适于放置在镀膜装置与待镀膜结构之间，所述膜厚控制工装(100)与所述待镀膜结构的待镀膜面(200)随型设置，所述膜厚控制工装(100)上开设有多个透射孔(10)，其中，与所述待镀膜面(200)上的靠近所述镀膜装置的部分正对的部分所述膜厚控制工装(100)上的所述透射孔(10)的开设密度小于与所述待镀膜面(200)上的远离所述镀膜装置的部分正对的部分所述膜厚控制工装(100)上的所述透射孔(10)的开设密度。
2.根据权利要求1所述的膜厚控制工装(100)，其特征在于，随所述待镀膜面(200)与所述镀膜装置之间距离的逐渐增大，与之对应的所述膜厚控制工装(100)上的所述透射孔(10)的开设密度逐渐增大。
3.根据权利要求2所述的膜厚控制工装(100)，其特征在于，所述膜厚控制工装(100)包括：一块挡板(1)，所述透射孔(10)开设在所述挡板(1)上。
4.根据权利要求2所述的膜厚控制工装(100)，其特征在于，所述膜厚控制工装(100)包括：多块挡板(1)，不同开设密度的所述透射孔(10)分别形成在多块所述挡板(1)上。
5.根据权利要求4所述的膜厚控制工装(100)，其特征在于，所述透射孔(10)构造为圆形孔(11)，多个所述圆形孔(11)等间距分布。
6.根据权利要求4所述的膜厚控制工装(100)，其特征在于，所述透射孔(10)构造为正多边形孔，每个所述正多边形孔的边数为偶数个，多个所述正多边形孔等间距分布。
7.根据权利要求5所述的膜厚控制工装(100)，其特征在于，所述圆形孔(11)的直径为D1，相邻两个所述圆形孔(11)之间的圆心距为D2，5mm≤D1≤7mm，6mm≤D2≤8mm。
8.根据权利要求6所述的膜厚控制工装(100)，其特征在于，所述正多边形孔构造为正六边形孔(12)，所述正六边形孔(12)的边长为D3，相邻两个所述正六边形孔(12)之间的距离为D4，8mm≤D3≤9mm，1mm≤D4≤2mm。
9.根据权利要求3或4所述的膜厚控制工装(100)，其特征在于，所述挡板(1)构造为金属板。
10.根据权利要求3或4所述的膜厚控制工装(100)，其特征在于，所述挡板(1)构造为塑料板。
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